판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293673416

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 제작 과정에서 반도체 장치의 성능을 모니터링하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 박막 두께, 플랫 결함, 경계 픽셀, 선 모서리 거칠기 등 다양한 매개변수를 측정할 수 있습니다. KLA 6420 Surfscan은 시트 저항, 지형, 패턴 밀도 및 전도성과 같은 구조 및 전기 특성을 특징 짓을 수도 있습니다. Surfscan 6420에는 고급 이미징 시스템 (Advanced Imaging System), 디지털 신호 처리 (Digital Signal Processing), 견고한 자동화 플랫폼 등 다양한 하드웨어 및 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이미징 장치는 카메라 (Camera), 광학 (Optics) 및 광원으로 구성되며 미디어 표면의 고해상도 이미지를 신속하게 캡처할 수 있습니다. 또한 대규모 디스플레이 (display) 를 통해 운영자가 검색 결과를 빠르고 쉽게 검토 할 수 있습니다. 시스템 내의 디지털 신호 처리 (digital signal processing) 는 데이터를 분석하고 해석하여 통계적으로 관련된 메트릭을 생성하도록 설계되었습니다. 즉, 이 도구는 간과 할 수있는 미묘한 결함을 정확하게 감지 할 수 있습니다. 자동화 플랫폼 (Automation Platform) 을 통해 6420은 프로덕션 환경에 통합될 수 있으며, 자산은 프로세스 변형 (Process Variation) 및 제조 수익률을 결정하기 위해 자동 검사를 수행 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 이더넷 (Ethernet) 을 통한 안전한 원격 액세스를 통해 원격 제어 (Remote Control) 및 액세스를 허용하며, 운영자는 모든 위치에서 매개변수를 원격으로 조정할 수 있습니다. 또 다른 중요한 특징은 화학적으로 향상된 미디어를 빠르게 분석하는 장비의 기능입니다. 여기에는 건식 (dry-etching) 및 습식 (wet-etching) 프로세스가 모두 포함되며, 이는 종종 표면 지형을 변경할 수 있습니다. 서핑 스캔 6420 (Surfscan 6420) 은 사전/사후 에칭 이미지를 실시간으로 비교하여 필요에 따라 신속하게 교정할 수 있도록 함으로써 이러한 변화를 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 시스템은 나중에 분석 및 보고를 위해 원시 측정 데이터를 저장할 수도 있습니다. 생성 가능한 보고서에는 평균 (mean), 중간 (median) 및 스캔 벡터 크기의 표준 편차 (standard deviation) 와 같은 중요한 지표가 포함됩니다. 이러한 보고서는 제조 환경에서 프로세스 성능을 결정하는 데 필수적입니다. 전반적으로, TENCOR 6420 Surfscan은 생산 환경에서 정확하고 안정적인 데이터를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장치입니다. 화학적으로 개선된 미디어를 검사하고 분석할 수 있는 강력한 하드웨어 (HWS) 와 소프트웨어 (Software) 는 완성된 반도체 장치의 성능을 모니터링하는 강력한 도구입니다.