판매용 중고 KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293624109

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan은 반도체 산업에서 평평하고 자유로운 웨이퍼 및 회로 어셈블리의 특성을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 실리콘, 갈륨 비소 (gallium arsenide), 석영 (quartz) 등 다양한 재료의 표면 토폴로지와 평탄도를 정확하게 측정 할 수 있습니다. KLA 6420 Surfscan 시스템은 도량형 헤드 (metrology head), 테스트 스탠드 (test stand) 및 다양한 하드웨어 및 소프트웨어 옵션으로 구성되어 있어 가장 다양한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 중 하나입니다. 도량형 "헤드 '는 세로단 에 장착 되는데, 이것 은 정밀 하고 솔질 이 없는" 짐벌 모터' 로 구동 된다. 이 장치에는 유연한 광학 반사계, 간섭계, x- 선 회절계, 산란계 및 x- 선 표면 이미징 카메라도 포함됩니다. 이러한 컴포넌트는 서피스 거칠기 (surface roughness), 평면도 (flatness), 결함 (defects) 및 기타 토폴로지 세부 정보를 포함한 서피스의 물리적 특성을 0.5 나노미터 이상의 해상도로 측정할 수 있습니다. 물리적 표면 측정 기능 외에도 TENCOR 6420 Surfscan 기계는 다양한 소프트웨어 옵션을 제공합니다. 여기에는 자동 결함 탐지에 대한 다중 채널 이미지 분석, 표면 특성화 및 추세 모니터링에 대한 통계 분석, 가상 프로토타입에 대한 대화형 3D 디스플레이 등이 포함됩니다. 이 툴은 장애 분석 (Failure Analysis) 및 제품 평가에 사용할 수 있으며, 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 를 통해 여러 사이트의 데이터를 쉽게 비교할 수 있습니다. 6420 Surfscan 자산은 프로세스 모니터링 및 항복 개선을위한 귀중한 도구입니다. 정밀 측정 기능을 통해 치수 모니터링, 서피스 결함, 피쳐 간 등록 (feature-to-feature registration) 등 고급 품질 제어 어플리케이션에 적합합니다. 또한 다양한 형식의 정확한 상세 보고서 (Report) 를 생성할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 신속하게 결과를 분석하고 정보에 입각한 의사 결정을 내릴 수 있습니다. 전반적으로 PROMETRIX 6420 Surfscan 모델은 매우 강력한 도량형 장치로, 정확한 표면 측정과 경향을 매우 정확하고 빠르게 분석하고 보고 할 수 있습니다. 반도체 제조업체들이 자사의 제품이 품질 (Quality) 과 신뢰성 (Reliability) 표준을 충족시키고자 하는 최적의 선택이다.