판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ #9384056

캐논 (CANON) FPA 5500 iZ는 반도체 장치 제작을 위한 고급, 신뢰할 수 있는 플랫폼을 제공하도록 설계된 광 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 차세대 CANON iZ 기술로, 업계에서 가장 고급적이고 효율적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 웨이퍼 스테퍼에는 고급 고해상도 투사 도구, 통합 도량형이있는 고급 단계 및 단계, 고용량 리소그래피 소스 (lithography source) 가 장착되어 있습니다. CANON FPA 5500IZ는 파장 248nm 및 고급 구형 광학을 가진 DUV KrF 레이저를 사용하여 고해상도 이미징 장비를 제공합니다. 미세 피치 모터, 다차원 스캔, 운동학적 제어로 구성된 고정밀 고급 스테이지 시스템을 갖추고 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 또한 UV에서 IR로 다중 파장 조명을 활용하고 장기, 반복 가능한, 초 해상도 리소그래피를 허용하는 대용량 리소그래피 소스를 특징으로합니다. 또한 FPA-5500 IZ 는 통합 결함 검사, 이미지 도금 (image plating), 도량형 (metrology) 기능을 제공하여 사용자에게 최고 품질의 디바이스 제작을 위한 완벽한 장치를 제공합니다. 모든 Wafer Stepper 구성 요소는 모듈식이며, 상호 교환이 가능하므로 유지 보수 및 수리 작업을 간편하게 수행할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 전자 전원 공급 장치 및 다중 채널 전기 기계 제어 장치 (electro-mechanical controls) 를 장착하여 사이클을 줄이고 처리량을 향상시킵니다. FPA 5500 iZ 는 가장 까다로운 반도체 생산 환경의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 고해상도 이미징 장치 및 고급 스테이지는 뛰어난 이미징 정확도와 정확한 제어를 제공합니다. 통합 도량형, 결함 검사, 도금 기능은 디바이스 제작을 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 마지막으로, 모듈 식 구성 및 장기 반복 가능한 리소그래피 머신 (lithography machine) 은 대량의 정밀 장치 제작에 이상적인 선택입니다.