판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ #9382264

CANON FPA 5555 iZ는 인쇄 라인, 마이크로 서킷 및 기타 구조를위한 웨이퍼에 고정밀 이미지를 생성하는 고급 스테퍼입니다. 다양한 크기의 이미지를 만들 수있는 다목적 장치이며, 해상도는 최대 3.7 µm, 종횡비는 최대 20: 1입니다. 스테퍼는 단일 침수 및 다중 침수 노출이 모두 가능합니다. CANON FPA 5555 iZ는 대량의 CWLS (wafer level substrate) 생산 및 패키지 장치 제작을 포함하여 다양한 재료 및 프로세스에 적합합니다. 안정성과 속도는 높은 수율 생산을 가능하게합니다. 스테퍼의 자동화는 또한 빠르고 효율적인 웨이퍼 생산을 보장합니다. 다양한 두께 웨이퍼에 유연한 정렬 정확도와 다중 모델 기능이 장착되어 있습니다. CANON FPA 5555 iZ에는 로우 프로파일 기본 디자인의 긴 LED 조명 소스가 있으며, 안정적이고 노출 일관성을 제공합니다. 또한 고유한 오버레이/HED (High-ecentric-diffraction) 기능을 제공하여 손상 또는 제한된 생산 처리량 없이 매우 높은 오버레이 정렬 정확도를 허용합니다. 스테퍼에는 산재 소음을 크게 줄이고 이미지 품질을 향상시키는 최적화 된 백 스캐너 (back scanner) 구성이 있습니다. 스테퍼는 또한 고속 셔터 메커니즘을 갖추고 있으며, 대형 웨이퍼 (large-shot wafer) 의 경우 2000ms min에서 소형 웨이퍼 (small-shot wafer) 부품의 경우 1000Hz까지 광범위한 노출 속도를 사용할 수 있습니다. 셔터의 유연성은 다양한 기판 및 프로세스에 적용됩니다. LCB (Liquid Crystal Bill) 시스템은 고급 노출 조정 및 색상 관리를 보장하여 노출을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. CANON FPA 5555 iZ는 또한 매우 미세한 선폭과 정확한 정렬 정확도로 오버레이를 생성 할 수 있습니다. 스테퍼에는 고급 웨이퍼 레벨 링 시스템 (wafer leveling system) 이 장착되어 있어 정확한 웨이퍼 궤적 및 기울기 제어가 가능합니다. 내장형 커넥터 모듈 (Integrated Connector Module) 은 많은 표준 제품과 호환되며 맞춤형 솔루션을 제공할 수 있습니다. 이 스테퍼는 또한 종합적인 소프트웨어를 사용하여 웨이퍼 노출 프로세스를 모니터링하고 제어합니다. 캐논 (CANON) FPA 5555 iZ 는 대규모 업종에서 소규모 생산 사이트에 이르기까지 다양한 요구 사항을 충족하는 이상적인 솔루션입니다. 이 제품은 신뢰성이 높도록 설계되었으며, 비용은 낮고 효율적입니다.