판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ #9275447

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ID: 9275447
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
i-Line stepper, 12" Reticle, 6" Inline: Left to right (2) Coaters (2) Developers 2001 vintage.
CANON FPA 5500 iZ는 고급 관찰, 검사 및 정렬 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 이 시스템에는 고해상도 5.5 인치 모니터, 인체 공학적 작동 콘솔, 통합 광학 이미징 장치가 있습니다. 이 기계는 직경이 최대 8 인치, 두께가 1mm 인 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. CANON FPA 5500IZ에는 기존의 웨이퍼 스테퍼의 2 배 이상의 광 전력을 제공하는 5 개의 광 채널이 있습니다. 이를 통해 웨이퍼의 정렬 및 검사가 더 정확해질 수 있습니다. 광학은 또한 높은 수치의 조리개 (aperture) 를 제공하여 높은 수준의 이미지 선명도와 해상도를 보장합니다. FPA-5500 IZ는 심도 및 편광 측정과 같은 고급 광학 이미징 기술을 사용합니다. 이를 통해 패드 및 솔더 볼과 같은 웨이퍼에 마이크로 컴포넌트를 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 또한 입자 결함을 감지하기위한 통합 적외선 레이저 스캐너가 있습니다. 이 도구에는 고속 X-Y 모터 스테이지가 있어 처리량 증가를 위해 빠른 웨이퍼 전송이 가능합니다. 또한 노출되기 전에 웨이퍼를 정확하게 정렬하기위한 완전 자동화 된 마이크로 미터 스테이지가 특징입니다. 이렇게 하면 마이크로 (micro) 컴포넌트 또는 기타 피쳐를 검사하거나 정렬할 때 가장 정밀도가 높습니다. FPA 5500 iZ 는 신속한 이미지 처리 자산을 갖춘 고속 CPU 를 사용하여 노출 시간을 줄여 보다 효율적인 테스트와 검사를 수행합니다. 사용자 친화적 인 GUI 인터페이스를 통해 시스템 작동을 더욱 쉽고 빠르게 수행할 수 있습니다. CANON FPA-5500 IZ 는 데이터 수집, 이미지 처리, 패턴 분석을 위한 포괄적인 오프라인 소프트웨어 제품군을 제공합니다. 즉, 운영자의 요구 없이 완벽한 웨이퍼 검사 솔루션을 제공합니다. 이 모델은 또한 향상된 웨이퍼 형상, 도량형 및 결함 검사 기능을 제공합니다. 전반적으로, FPA 5500IZ는 높은 정확도 검사 및 웨이퍼 정렬을 위해 특별히 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 이 제품은 정확도, 속도, 처리량, 사용 편의성을 향상시키기 위해 설계된 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이는 정확도와 속도가 가장 중요한 모든 정밀 웨이퍼 처리 (precision wafer processing) 애플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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