판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ #9274953

CANON FPA 5500 iZ는 집적 회로 (IC) 의 제작을 위해 반도체 산업과 메모리 칩, 프로세서 또는 LED와 같은 다른 마이크로 전자 장치에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 장치에서 프로세스 정확도와 반복 (repeatability) 의 변화를 최소화하는 고급 (advanced) 설계가 제공됩니다. iZ (step-and-scan) 시스템은 레티클 (회로의 설계 패턴이 저장된 마스크) 과 웨이퍼를 두 단계로 가로로 이동할 수 있음을 의미합니다. 첫 번째 단계는 "사전 정렬" 이라고하며, 여기서 레티클은 웨이퍼 위에 정확하게 배치됩니다. 두 번째 단계는 "스캐닝 (scanning)" 이라고하며, 여기서 "노출 (exposure)" 빔으로 알려진 레이저 빔은 레티클에서 웨이퍼로 패턴을 투영하는 데 사용됩니다. CANON FPA 5500IZ는 최대 0.25 미크론 (미크론의 1/4) 의 해상도와 단일 자릿수 나노 미터 범위 (즉, 10nm 미만의 편차) 에서 최대 반복 정확도로 작동 할 수 있습니다. 고급 이미지 스티칭 기능 (High-End Image Stitching Function) 이 특징이며, 여러 이미지를 함께 연결하여 0.25 미크론의 해상도로 큰 레티클 패턴을 재생성할 수 있습니다. 또한 iZ는 다양한 고급 정렬 기능을 제공합니다. 여기에는 정확성과 반복성을 보장하기위한 레티클 및 웨이퍼의 정렬이 포함됩니다. 웨이퍼 (wafer) 에 있는 일련의 유사한 필드의 상대적 위치를 지정할 수 있습니다. 와퍼 (Wafer) 또는 레티클 (Reticle) 을 조정할 필요없이 와퍼 (Wafer) 및 레티클 (Reticle) 을 정확하고 빠르게 미리 정렬 할 수있는 JIP (Just-in-place) 모드입니다. FPA-5500 IZ 는 디바이스 제작을 위한 빠르고, 안정적이며, 고성능 플랫폼으로 설계되었습니다. 이미징 시스템 (Imaging System) 의 높은 정밀도와 유연한 정렬 시스템 (Flexible Alignment System) 으로 인해 빠른 주기 시간을 제공할 수 있으며, 이를 통해 반복 가능하고 정확한 필드 배치가 가능합니다. 또한 사용자 정의 가능한 웨이퍼 척 (wafer chucks), 광섬유 조명 시스템, 직관적인 사용자 인터페이스 등의 다양한 기능을 제공합니다. FPA 5500IZ (FPA 5500IZ) 는 견고하고 정확도가 높은 웨이퍼 스테퍼로, 다양한 마이크로 일렉트로닉 제작 프로세스에 적합합니다. 최고 수준의 정밀도 (Precision) 및 반복성 (Repeatability) 을 위해 설계되었으며, IC 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치의 제작에 이상적인 다양한 고급 기능을 제공합니다.