판매용 중고 CANON FPA 5500 iZ+ #293827280
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ID: 293827280
빈티지: 2004
i-Line stepper
Illumination system
Reticle preset
Wafer stage
OAS Unit
Stage air control
Reticle library
Reticle handler
Wafer handler
Control board
C-Rack
Lamp house
Temperature controller panel
TDK TAS300 Foup unit
RASCO TBW-CD160 Compact chamber
PP Box
No HDD (Hard Disk Drive)
2004 vintage.
CANON FPA-5500 iZ + 는 반도체 제조에서 고정밀 사진 석판 공정을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 집적회로 생산의 핵심 요소로, FPA-5500 iZ + 는 반도체 업계의 까다로운 요구 사항을 충족하는 고급 기능을 제공합니다. 최첨단 프로젝션 렌즈 시스템을 갖춘 CANON FPA-5500 iZ + 는 높은 해상도와 뛰어난 오버레이 정확도로 뛰어난 이미징 성능을 제공합니다. 고급 광학 (Advanced Optics) 을 통해 스테퍼는 서브 미크론 해상도를 달성하여 정밀성과 일관성을 갖춘 반도체 웨이퍼에 복잡한 패턴을 생산하는 데 이상적입니다. FPA-5500 iZ + 의 두드러진 기능 중 하나는 이중 패턴 (double patterning) 및 스페이서 패턴 (spacer patterning) 과 같은 여러 패턴화 기술을 지원하는 기능으로, 점점 더 작은 피쳐 크기로 차세대 장치를 생산할 수 있습니다. 반도체 제조업체들은 이러한 유연성을 바탕으로 기술 발전의 선두에 서고, 현대 전자장치의 통합과 성능 향상을 위한 '높은' 요구 사항을 충족시킬 수 있게 되었습니다. CANON FPA-5500 iZ + 는 노출 중에 마스크에 대한 웨이퍼를 정확하게 정렬하는 정교한 정렬 시스템을 갖추고 있습니다. 이 정렬 기능은 여러 개의 상호 연결 (Interconnect) 및 활성 컴포넌트 (Active Component) 레이어가 있는 복잡한 반도체 구조를 제작할 수 있도록 다른 패턴 레이어 간의 정확한 오버레이를 달성하는 데 중요합니다. 또한, FPA-5500 iZ + 는 노출 중 동적 초점 및 레벨 링 조정을 가능하게하고, 웨이퍼 표면에 균일 한 초점과 평평함을 보장하는 고급 스테이지 컨트롤 기술을 갖추고 있습니다. 이러한 제어 수준은 전체 노출 프로세스 전반에 걸쳐 일관된 패턴 충실도 (pattern fidelity) 와 이미지 품질 (image quality) 을 유지하는 데 필수적입니다. 캐논 (CANON) FPA-5500 iZ + 는 고성능 이미징 기능 외에도, 생산 프로세스를 간소화하고 처리량을 극대화하기 위해 설계된 다양한 생산성 향상 기능을 제공합니다. 이 스테퍼는 자동화된 재료 처리 시스템 (Automated Material Handling System) 과 호환되므로 원활한 웨이퍼 로드 및 언로드를 통해 다운타임을 최소화하고 효율성을 높일 수 있습니다. 또한, FPA-5500 iZ + 는 업계 표준 석판화 데이터 준비 소프트웨어와 완벽하게 통합되어 반도체 제조업체가 패턴화 전략을 최적화하고, 프로세스 조건을 시뮬레이션하며, 스테퍼 기능과 완벽하게 일치하는 마스크 레이아웃을 생성할 수 있습니다. 전체적으로, CANON FPA-5500 iZ + 는 광석판 촬영 기술의 경계를 밀고 반도체 장치 제작에서 최고 수준의 정밀도 및 성능을 달성하려는 반도체 제조업체를 위한 최첨단 솔루션입니다. FPA-5500 iZ + 는 고급 이미징 기능, 정렬 정밀도 (Alignment Precision), 생산성 (Productivity) 기능을 통해 반도체 제조에 혁신을 불러일으키며, 탁월한 통합 및 성능으로 차세대 전자 기기를 개발할 수 있습니다.
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