판매용 중고 ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4009D #9073953

ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4009D
ID: 9073953
Automatic wafer cleaning system.
ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4009D 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 반도체 제작 프로세스에 사용되는 고급 기계입니다. 이렇게 하면 이후 프로세스 단계 이전에 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 서피스를 빠르고, 효과적으로, 안전하게 청소하고, 준비할 수 있습니다. "카일스4009D '는" 웨이퍼' 나 "마스크 '재료 를 손상 시키지 않고 철저 히 청소 하는 표면 을 공급 하기 위하여 정교 한 청소 기술 을 개발 하였다. 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 모두 최적의 청소하기 위해 35C의 온도에서 지속적으로 가열 된 깨끗한 용액을 제공하는 물 탱크를 특징으로합니다. ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4009D 스크러버에는 효율적이고 정확한 스크러빙 및 스키빙 작업을위한 웨이퍼 및 마스크 운송 및 청소 시스템도 포함되어 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에 사용되는 스크러빙 메커니즘에는 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 정확한 깊이로 청소하기위한 2 행정 동작이 장착되어 있습니다. 원하는 깊이에 도달하면 스크러빙 동작을 중지하는 자동 정지 (auto-stop) 기술이 포함됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 압력 스크러빙, 스크러빙 속도, 스크러빙 시간 (scrubbing time) 을 위해 여러 설정을 가진 다용도 응용 프로그램에도 적합합니다. 고속 회전 브러시가 장착 된 KYX4009D는 200mm ~ 1,000mm 크기의 웨이퍼 및 마스크를 수용 할 수 있으며, 최대 스크러빙 속도 (15m/s) 로 작동 할 수 있습니다. ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4009D는 또한 장비의 안정적이고 안전한 작동을 보장하기 위해 여러 안전 기능을 자랑합니다. 응급 종료 (Emergency Shutdown) 버튼은 스크러버 (Scrubber) 에 있으며, 긴급 발생 시 즉시 스크러빙 작업을 중지하는 데 사용할 수 있습니다. 또한, 파손되거나 잘못 고정된 구성 요소가 감지되고 수정되도록 failsafe brazing 시스템이 포함되어 있습니다. 최첨단 세척 기술과 혁신적인 기능을 갖춘 KYX4009D 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 모든 반도체 제작 프로세스에 적합한 솔루션입니다. 사용자 친화적인 제어판 (Control Panel) 을 통해 손쉽게 작동할 수 있으며, 여러 가지 설계한 설정과 안전 기능을 통해 스크러버의 안정된 성능과 안전한 작동을 보장합니다.
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