판매용 중고 ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4007H #9073954

ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4007H Wafer/Mask Scrubber는 반도체 처리 응용 프로그램의 웨이퍼 및 마스크 기판을 처리하도록 설계된 다목적이고 정교한 스크러버입니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 완전히 자동화 된 공정을 특징으로하며, 웨이퍼 및 마스크 기질을 문지르면서 입자와 산화물 오염을 줄일 수 있습니다. KYX4007H 스크러버에는 2 개의 스크러빙 스테이션 (웨이퍼 용 1 개, 마스크 용 1 개) 이 완비되어 두 스테이션을 동시에 사용하여 시간을 절약 할 수 있습니다. ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4007H 스크러버는 독특한 초음파-노즐 청소 프로세스를 사용하여 전통적인 청소 방법에 대한 향상된 스크러빙 성능을 보장합니다. 이 공정은 가변 주파수 초음파 발전기 (Variable Frequency Ultrasonic Generator) 를 사용하여 고주파 진동을 만들어 아르곤-가스 드렌지 퍼지 공기 (Argon-gas-Drenched Purge Air) 제트가 클리닝 된 기질의 표면을 가로 질러 높은 속도로 흐르고 오염 물질을 제거합니다. 또한, 스크러버에는 전원 수준 (Power Level) 및 스크럽 주기 (Scrub Cycle) 수에 대한 구성 가능한 설정이 포함되어 있으며, 필요에 맞게 조정할 수 있습니다. KYX4007H 스크러버에는 가동 중 에너지를 절약하는 데 도움이되는 절전 장비도 있습니다. 이 "시스템 '은" 스크러버' 에 의해 발생 되는 열 을 재사용 하기 위한 냉각제 재활용기 를 갖추고 있으며, 그것 을 작동 시키는 데 필요 한 전기 의 양 을 감소 시킨다. 게다가, "스크러버 '는 유량" 미터' 와 조정 할 수 있는 두 개 의 배기 가스 로 완성 되어 청소 과정 을 정확 히 제어 할 수 있게 해 준다. 이러한 기능 외에도 ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4007H 스크러버는 지능형 기판 운송 장치를 사용하여 스크러버가 다른 크기의 기판을 처리 할 수 있습니다. 이 기계는 이중 레일 로봇 드라이브 (dual-rail robotic drive) 를 갖추고 있으며, 가공되는 동안 기판의 정확하고 일관된 이동을 가능하게하며, 수동 개입없이 스크러버에서 웨이퍼를 입력, 출력하는 수단을 제공합니다. 마지막으로, KYX4007H 스크러버에는 적외선 센서, 경보 시스템, 비상 셧다운 시스템 (Emergency Shutdown System) 과 같은 향상된 안전 기능이 장착되어 있어 가혹하고 잠재적으로 위험한 제조 환경에 적합합니다. ZHANGJIAGANG CITY KEYU KYX4007H Wafer/Mask Scrubber는 고급적이고 강력한 청소 도구이며, 운영자 개입이 거의없이 웨이퍼 및 마스크 기판을 효율적으로 스크러빙 할 수 있습니다. 정밀 자동화, 에너지 절약 (energy saving) 메커니즘, 향상된 안전 기능을 통해 반도체 제조에 이상적인 선택이 가능합니다.