판매용 중고 VIRON VVS-120144 and VVS-120120 #198040

VIRON VVS-120144 및 VVS-120120 웨이퍼 및 마스크 스크러버 시스템은 6 인치 실리콘 웨이퍼 및 포토 마스크 자동 청소 및 건조를 제공합니다. 청결, 건조 및 고성능 부품은 반도체 장치 제조의 필수 구성 요소입니다. 비론 (VIRON) 의 스크러버 시스템은 오늘날의 전자 제품 제조에 필요한 정확한 표준을 충족시키기 위해 최대 6 인치의 자동 청소 및 부품 건조를 제공합니다. VVS-120144 장비는 몇 분 안에 깨끗하고 건조한 웨이퍼 및 포토 마크를 제공합니다. 자동 시스템은 스크러버 셀, 로봇 암, 건조 및 CVC 모듈로 구성됩니다. 스크러버 셀 (scrubber cell) 은 표면 청소를 수행하고 깨끗한 웨이퍼와 마스크를 완전히 고정시킵니다. 그런 다음, "로봇 '암 은 건조 와 측정 을 위해" 웨이퍼' 와 "마스크 '를 건조 및 CVC 모듈 로 옮긴다. VVS-120120 장치는 청소 솔루션과 함께 사용하도록 설계된 단일 베이 시스템입니다. 이것 은 부가적 인 "로봇 '암 과 건조 및 CVC" 모듈' 을 필요 없이 동일 한 철저 한 청소 와 건조 를 한다. 각 도구는 특허를받은 V-Moss 청소 및 린스 기술을 사용합니다. 이 기술 은 특수 하게 설계 된 "브러쉬 '를 이용 하여 부품 의 표면 을 동요 시키고 청소 한다. 동시에, 고속, 로우 프로파일 에어 스트림은 잔류를 없애는 데 사용됩니다. V-Moss 에셋은 표면 오염 물질과 입자를 부드럽게하지만 단단히 제거하여 고품질, 깨끗한 표면을 보장하도록 설계되었습니다. VVS-120144 및 VVS-120120 시스템도 부품 무결성 테스트 및 모니터링을 지원합니다. 이 시스템에는 다양한 테스트 기능이 내장되어 있으며, 안정적인 정확성과 반복성을 보장합니다. 여기에는 부품의 개별 표면 레벨 전기 특성을 테스트하는 스펙트럼 광도 및 시각 검사 모듈 (Visual Inspection Module) 이 포함됩니다. 또한, VIRON 스크러버 시스템은 소프트웨어 프로그램과 통합되어, 청소 유체 라이브러리를 VIRON VVS-120144 및 VVS-120120 시스템과 연결할 수 있습니다. 이 기술을 통해 사용자는 특정 재료와 애플리케이션에 대해 최적의 클리닝 솔루션 (Cleaning Solution) 과 매개변수 (Parameter) 를 선택할 수 있으며, 클리닝의 정확성과 일관성이 높아집니다. VVS-120144 및 VVS-120120 웨이퍼 및 마스크 스크러버 시스템은 6 인치 웨이퍼 및 포토 마스크 자동 청소 및 건조를 위한 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 특허를 획득한 V-Moss 기술은 부드럽지만 철저한 깨끗함을 보장하는 반면, 내장 테스트 기능은 안정적인 정확성과 반복성을 보장합니다. 또한 사용자는 소프트웨어 통합을 활용하여 성능을 극대화할 수 있습니다.