판매용 중고 VEECO / SSEC M3303 #9180788

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ID: 9180788
빈티지: 2010
Metal etcher 2010 vintage.
VEECO/SSEC M3303 (VEECO/SSEC M3303) 은 웨이퍼와 마스크의 기계적 스크러빙 및 자동 클리닝을 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 자동 생산 (automated production) 및 실험실 (laboratory use) 을 위해 설계되었으며 접촉 표면을 위해 내장된 기능입니다. SSEC M3303은 자동 픽 앤 플레이스 (pick-and-place) 정렬을 갖춘 사전 건조 또는 습식 스크러빙 기술을 사용하여 청소 프로세스의 생산 속도와 정확도를 증가시킵니다. 통합 프로그램 제어는 수동 프로세스와 비교하여 정확하고 반복 가능한 클리닝을 허용합니다. 기계 에는 회전 "스크러버 '머리 가 장착 되어 있는데, 이것 은" 웨이퍼' 의 표면 에 접하는 일련 의 회전 "브러쉬 '로 구성 되어 있으며, 각 회전 으로 입자 들 을 부드럽게 긁는다. LPCVD 및 CVD 웨이퍼를 모두 청소할 수 있으며, 다양한 웨이퍼 크기에 적합합니다. 마스크 스크러버에는 업그레이드 가능한 버전이 있으며 가장 일반적인 스크러버 헤드는 SSEC M400 (최대 8.5 MIC) 의 조리개와 프레임을 모두 청소할 수 있습니다. 머리의 고급 디자인은 PSG555 및 RTP와 같은 다양한 마스크 기판에 대한 정확한 클리닝을 보장합니다. VEECO M-3303은 수동 또는 배치 모드로 작동할 수 있으며, 사용자에게 친숙한 7 "컬러 터치 스크린이 장착되어 있습니다. 기계는 보호 된 접촉 표면이 손상되지 않도록 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 낮은 유체 솔루션 모니터와 자동 린스 사이클이 특징입니다. M-3303 스크러버 (Scrubber) 는 다양한 클리닝 어플리케이션에 사용할 수 있도록 유연하게 유지하면서 처리량이 높습니다. 이 제품은 견고한 제어 시스템 (견고한 제어 시스템) 으로 설계되어 정밀 클리닝이 필요한 모든 환경 (예: 제조 라인에 통합) 에 적합합니다. 신뢰할 수 있고 반복 가능한 청소 프로세스를 통해 VEECO/SSEC M-3303은 자동화된 생산 및 실험실 환경의 웨이퍼/마스크 스크러빙 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다.
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