판매용 중고 VEECO / SSEC M3303 #293651181
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VEECO/SSEC M3303 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 는 제작 및 검사 프로세스 전에 웨이퍼와 포토 마스크를 청소하도록 설계된 기계입니다. "스크러버 '는 진동 하는" 브러쉬' 와 여과 된 공기 "제트 '를 이용 하여" 웨이퍼' 나 "포토마스크 '표면 에서 입자 들 을 물리적 으로 문지르고 날려 버린다. 진동 하는 "브러쉬 '는 철저 한 입자 제거 와" 필터링' 된 공기 "제트 '가 신속 한 공정 시간 을 촉진 시켜 빠르고 깨끗 하게 입자 를 제거 하는 데 도움 이 된다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 표면에 도달하기 위해 느슨한 입자를 제거하는 진공 청소 기능을 제공합니다. SSEC M3303은 설치가 쉽고 최소한의 유지 보수가 필요한 소형 시스템입니다. 스크러버 (scrubber) 는 다양한 조정 가능한 매개변수를 제공하여 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 스크러빙 (scrubbing) 프로세스를 사용자 정의할 수 있습니다. 사용자는 진동 브러쉬의 속도와 동작을 조정하고, 진공 (vacuum) 및 에어로졸 (aerosol) 필터 설정을 선택하고, 공기 제트 속도와 높이를 프로그래밍할 수 있습니다. 스크러버는 스테인리스 스틸 베어링 (stainless steel bearing) 과 브러시 헤드 (brush head) 와 같은 안정적이고 내구성이 뛰어난 부품으로 제작되었습니다. 브러시 헤드 (brush head) 에는 웨이퍼 (wafer) 나 포토 마스크 (photomask) 표면에서 입자를 효과적으로 제거하기 위해 설계된 단단한 강모가 있으며, 표면을 무사히 남겨두기에 충분합니다. 브러쉬 헤드 (Brush Head) 및 베어링 (Bearing) 어셈블리는 스크러버의 전면 패널을 통해 액세스할 수 있으므로 빠르고 쉽게 부품을 유지 관리하고 교체할 수 있습니다. 스크러버는 일관된 스크러빙 결과를 보장하기 위해 미리 정의된 프로세스로 설계되었습니다. 모든 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 시스템에 사용자 프로그래밍 및 저장할 수 있으므로 스크러빙 프로세스의 속도를 높이고 프로세스 변경을 단순화할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 각 청소 과정의 역사를 기록하는 추적 가능성 로그를 제공합니다. 웨이퍼 및 포토 마스크 외에도 VEECO M3303 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 를 사용하여 다른 작은 부품과 부품을 청소할 수도 있습니다. 이 장치는 여러 유형의 컨테이너와 호환되므로, 여러 부품을 쉽게 로드할 수 있습니다. 이 스크러버 (scrubber) 의 유연성과 다양성을 통해 스크러빙 (scrubbing) 프로세스를 조정하고 사용자 정의하여 다양한 작은 부품과 표면을 청소할 수 있습니다. 스크러버의 신뢰성, 내구성, 추적 능력 (traceability) 은 고품질 결과와 함께 웨이퍼와 포토 마스크 (photomask) 를 일관되게 청소해야 하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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