판매용 중고 ULTRATECH PC 602 #186831

ULTRATECH PC 602 Wafer 및 Mask Scrubber는 반도체 및 마이크로 일렉트로닉 응용 프로그램을위한 photomasks 및 wafer와 같은 기판을 청소하고 스크러빙하기위한 자동 장비입니다. 이 시스템은 신뢰성이 높은 컨베이어 시스템 (Conveyor System) 을 활용하여 프로세스를 통해 기판을 전송하고 최고 수준의 클리닝 정밀도, 반복성, 정확성을 제공합니다. PC 602 Wafer 및 Mask Scrubber는 도구 통합, 프로세스 설정, 데이터 관리를 용이하게 하는 모듈식 개념으로 설계되었습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스는 운영자가 프로세스를 제어, 운영, 모니터링할 수 있는 간편하고 접근하기 쉬운 방법을 제공합니다. 스크러버의 스마트 프로세스 로직 (Smart Process Logic) 기술은 클리닝 프로세스 전반에 걸쳐 기판 매개변수, 스케줄 및 이력의 강력한 데이터 관리 및 추적 기능을 제공합니다. ULTRATECH PC 602 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 는 듀얼 챔버 디자인을 사용하여 스크러버가 연속적인 주기로 동일한 라인에서 웨이퍼를 처리하여 처리량과 생산성을 크게 향상시킬 수 있습니다. 이중 공정 챔버 (dual-process chamber) 의 유연성은 수동 전환 없이 동일한 프로세스에서 다른 기판을 스크러빙할 수 있습니다. 이 장치는 또한 서로 다른 기판 간의 손쉬운 전환을 위해 완전히 자동화 된 도구 "기계화" 기계를 갖추고 있습니다. 이 도구의 와플 카세트 (waffle cassette) 는 빠르고 쉬운 로딩 경험을 제공하며, 클램핑 또는 공구 전환이 필요하지 않습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 정확한 기판 배치를위한 시각적 상부 하중 어시스트 및 정밀한 하중 포지셔닝 기능이 장착되어 있습니다. PC 602 Wafer 및 Mask Scrubber에는 정교한 고해상도 공압 급락 도구가 장착되어 있습니다. 플런저는 스크러빙 프로세스 전반에 걸쳐 균일 한 압력과 정확한 선형성을 제공하며, 완벽한 프로세스 결과를 보장합니다. 스크러버 (scrubber) 는 다양한 웨이퍼 크기, 마스크 크기, 기판 유형을 지원하여 탁월한 유연성과 확장성을 제공합니다. 또한 ULTRATECH PC 602 웨이퍼 (602 Wafer) 및 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 는 전력 손실의 경우 자동 종료, 유틸리티 전원 과열 또는 손실시 자동 종료 등 다양한 안전 기능을 자랑합니다. 이 안전 (Safety) 기능은 자산이 업계 안전 표준을 준수하고 수년간 신뢰할 수있는 운영을 견딜 수 있도록 보장합니다. PC 602 Wafer 및 Mask Scrubber는 마스크와 웨이퍼 기판을 긁는 고급, 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 탁월한 유연성, 직관적인 사용자 인터페이스, 안전에 대한 관심 등으로 안정성과 높은 성능을 보장합니다.