판매용 중고 ULTRATECH 605 #200597

ULTRATECH 605 Wafer & Mask Scrubber는 모든 유형의 웨이퍼 및 마스크를 처리하도록 설계된 완전 자동화 된 다차원 웨이퍼 청소 도구입니다. 이 장비는 정밀하고 사용 편의성으로 인해 대용량 생산 환경에서 씬 웨이퍼 (Thin Wafer) 와 마스크 (Mask) 를 청소하는 데 이상적입니다. 자동화된 기능을 통해 수작업을 최소화하면서 신속하게 웨이퍼 클리닝을 수행할 수 있습니다. 605의 핵심 기능은 다양한 스크러버 노즐 크기가 내장 된 2 개의 교환 가능한 스크러버 헤드로 구성됩니다. 이러 한 머리 는 서로 직각 으로 달리면서 "웨이퍼 '의 앞면 과 뒷면 을 모두 깨끗 이 하고 동시 에" 마스크' 를 한다. 이 스크러버 설계를 통해 ULTRATECH 605는 매시간 100 개 이상의 웨이퍼를 청소하며, 처리율은 분당 최대 8 개입니다. 스크러버 헤드는 0 ~ 3000 RPM에서 작동하는 조절 가능한 속도 드라이브에 의해 구동됩니다. 이러한 드라이브는 605 를 통해 클리닝 속도를 자동으로 조정하여 클리닝 시간과 클리닝 품질 (quality of cleaning) 간의 완벽한 균형을 보장합니다. 사용자는 특정 운영 요구에 맞게 클리닝 속도를 더욱 최적화할 수 있습니다. 설치 및 구성된 ULTRATECH 605 Wafer & Mask Scrubber에는 여러 가지 안전 기능이 있으며, 이는 일반적인 위험 요소로부터 보호 기능을 제공합니다. 이 강력 한 청소 장치 는 "스크러버 '머리 가 매번 동일 한 위치 에서 멈추게 하고, 주인 이나 운전자 를 위험 한 상태 로부터 보호 하기 위한" 인터록' (interlock) 을 보호 하는 역동적 인 제동 장치 를 갖추고 있다. 또한 605 는 움직이는 최소한의 부품 (moving parts) 과 공기 모니터링 장치 (air monitoring unit) 를 갖추고 있습니다. 즉, 기계가 누수를 감지하면 기계가 자동으로 종료됩니다. 이러한 안전 기능 외에도, ULTRATECH 605 Wafer & Mask Scrubber는 사용이 간편한 소프트웨어를 제공하여 사용자는 시스템 외부에서 클리닝 주기를 사용자 정의하고 작업을 만들고 모니터링할 수 있습니다. 이 직관적인 기계 제어 도구에는 추적 기능 도구, 셋업 마법사 (Setup Wizards) 및 다양한 실시간 진단 (Real-Time Diagnostics) 이 포함되어 있어 작업을 원활하게 실행할 수 있습니다. 605 개의 스크러버가 모두 완전히 장착되어 있으며 사용할 수 있습니다. 이 컴팩트하면서도 강력한 클리닝 자산은 대용량 생산 환경에 이상적인 솔루션으로, 청결도 (Cleaness) 와 속도 (Speed) 가 가장 중요합니다.