판매용 중고 ULTRA-T EQUIPMENT / UTE SCS i124 #9179533

ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCS i124는 반도체 제조에서 많은 양의 요구 사항을 충족하도록 설계된 반자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 기계는 여러 웨이퍼 및 마스크 조합을 스크러빙 할 수 있으며, 처리량은 분당 최대 12 웨이퍼 (wafer) 입니다. UTE SCS i124 는 스크러빙 (scrubbing) 프로세스를 정확하게 제어하여 일관된 장치 성능을 위한 고품질 결과를 제공합니다. ULTRA-T EQUIPMENT SCSI124에는 전용 전송 암이있는 통합 웨이퍼 운송 장비가 있습니다. 그것 은 부드럽고 신뢰 할 만한 과정 을 마련 해 주며, "웨이퍼 '와" 마스크' 를 스크러버 '로 이동 시키고 청소실 로 들어간다. 스크러버에는 철저한 청소를위한 건조 스테이션이 장착되어 있습니다. 청소 과정 을 조정 하여, 유기 입자 를 공격적 으로 청소 하는 일, 산화물 층 을 청소 하는 일, 산화물 "에치 '(etch), 재생 (reconditioning) 등 여러 가지 결과 를 얻을 수 있다. SCSI124 에는 3 축 스크러버 모듈 및 자동 클리닝 프로세스가 장착되어 있어 스크러빙에서 건조 (drying) 또는 추가 스크러빙 사이클 (scrubbing cycle) 로 신속하게 전환할 수 있습니다. 스크러빙 (scrubbing) 모듈은 청소 매개변수를 정확하게 제어하기 위해 조정 가능한 청소 압력과 청소 속도를 제공합니다. ULTRA-T EQUIPMENT SCS i124 (ULTRA-T EQUIPMENT SCS i124) 는 스크러버의 가변 클리닝 매개변수 때문에 웨이퍼 표면에 관계없이 고품질 결과를 낼 수 있습니다. 또한 UTE SCSI124에는 스크러빙 전후, 웨이퍼 및 마스크 조건을 모니터링하는 데 사용되는 고급 비전 (advanced vision) 시스템이 장착되어 있습니다. 비전 유닛은 0.2um-7um 범위에 존재하는 오염 물질을 탐지, 식별하도록 설계되었습니다. 비전 머신 (vision machine) 은 스크러빙 결과에 대한 실시간 피드백을 제공하여 처리 직원이 필요한 경우 즉석에서 조정할 수 있습니다. ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCSI124에는 여러 가지 안전 기능이 내장되어 있습니다. 이 도구는 손상/산화 탐지를 위해 적극적으로 모니터링되는 도구로 설계되었으며, 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 표면을 자동으로 감사할 수 있습니다. 질소 및 습도 조절 장치, 스핀 린서, 색상 기반 비전 시스템, 호퍼 번들러 (hopper bundler) 와 같은 기계와 함께 제공되는 액세서리 (옵션) 를 사용하면 보다 효율적이고 높은 수율 처리가 가능합니다. SCS i124는 신뢰할 수 있고 품질이 높으며 효율적인 스크러버를 제공합니다. 유지 관리가 용이하며, 일관되게 우수한 결과를 얻어 클리닝 주기 (cleaning cycle) 와 비용을 크게 줄입니다. ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCS i124는 정확한 웨이퍼 및 마스크 청소로 생산성을 극대화하려는 모든 반도체 생산 환경에 이상적인 선택입니다.