판매용 중고 TOSETZ EX-007SU-DF #293629903
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ID: 293629903
Scrubbers
(4) Chambers
NW40 Inlet
Flange exhaust, 6"
TEOS
SWAGELOK Nitrogen inlet, 14"
Capacity: 200 L/min
Make up water
Drain line
Water inlet: 3/4" Pipe
Power supply: 200 VAC, 30 A, 50 Hz, 3-Phase.
TOSETZ EX-007SU-DF는 뛰어난 입자 제거 및 오염 제어를 제공하도록 설계된 정밀 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 기계는 3D 감지, 고급 리소그래피, 서브 마이크론 이미징 등 반도체 제조에서 프로세스 크리티컬 응용 프로그램의 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해 개발되었습니다. EX-007SU-DF (EX-007SU-DF) 는 다양한 고급 스크러빙 기술을 사용하여 웨이퍼와 마스크를 건조 및 습식 스크러빙, 초음파 스크러빙을 포함하여 최고 수준의 깨끗함으로 효과적으로 청소하여 최적의 입자 제거를 보장합니다. TOSETZ EX-007SU-DF에는 통합 듀얼 헤드 스크러빙 챔버 (듀얼 헤드 스크러빙 챔버) 가 장착되어 있어 습식 및 건식 스크러빙 기술을 모두 사용할 수 있습니다. "웨이퍼 '와" 포토마스크' 는 가장 어려운 입자 와 파편 을 제거 하기 위하여 동시 에 청소 되며, 이것 은 더 뛰어난 청결 과 오염 조절 을 보장 한다. 또한, 챔버는 전적으로 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 내수성이 있으므로 젖은 스크러빙에 사용하기에 완전히 안전합니다. EX-007SU-DF는 또한 강력한 고압 공기 순환기를 특징으로하여 스크러빙 솔루션을 효과적으로 동요하고 챔버에서 오염 물질을 제거합니다. 이를 통해 스크러빙 (scrubbing) 프로세스의 효율성을 향상시키고 번거롭고 수작업 (manual agitation) 을 수행할 필요가 없어집니다. 또한, TOSETZ EX-007SU-DF에는 지능형 자동 스크러빙 (auto-scrubbing) 시스템이 장착되어 있으므로 최소한의 개입으로 스크러빙 작업을 손쉽게 프로그래밍하고 실행할 수 있습니다. 스크러빙 사이클은 섬세한 재료를 수용하도록 미세 조정 및 조정 할 수도 있습니다. EX-007SU-DF는 200mm 및 300mm 웨이퍼 캐리어, 최대 200mm 크기의 포토 마스크 등 다양한 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 이 "스크러버 '의 유연성 은 여러 가지 기판 들 을 빠르고 정확 하게 처리 할 수 있게 해 준다. 또한이 챔버에는 인체 공학적으로 설계된 로딩 챔버가 있어 제품 로딩을 용이하게합니다. 전반적으로, TOSETZ EX-007SU-DF는 고급, 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 웨이퍼와 마스크를 최고 수준의 청결함까지 효과적으로 청소합니다. 강력한 공기 순환기와 결합 된 스크러빙 기술 (scrubbing technologies) 의 종합적인 목록은 반도체 제조에서 프로세스 크리티컬 응용 분야에 이상적입니다. 다용도, 사용하기 쉬운 프로그래밍, 다양한 기판 호환성을 통해 모든 스크러빙 응용 프로그램에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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