판매용 중고 TOHO TECHNOLOGY Pre cleaner #293661626

TOHO TECHNOLOGY Pre cleaner
ID: 293661626
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2003
12" 2003 vintage.
TOHO TECHNOLOGY Pre Cleaner는 반도체 제조에 사용되는 마스크 및 웨이퍼를 우월하게 청소하도록 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 사전 청소기 는 "와퍼 '와" 마스크' 의 표면 에서 가장 완고 한 입자, 흙, 찌꺼기 를 제거 하기 위하여 화학적 청소 공정 과 결합 된 최적화 된 물 "제팅 '장치 를 사용 한다. 직경 200 mm (최대 450 mm) 의 웨이퍼를 청소하고 한 번에 최대 8 개의 마스크를 처리 할 수 있습니다. 웨이퍼 표면은 먼저 100 바 (100 bar) 의 워터 제트 압력 (water jet pressure) 에 의해 처리되고, 그 다음 화학 청소로 표면 오염 물질의 양을 더욱 줄입니다. 전체 클리닝 주기는 휴먼 인터페이스 모니터 (human interface monitor) 에 의해 자동화되고 모니터링되므로 스크러빙 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 모니터는 또한 운영자가 필요에 따라 청소 시간, 압력, 화학 농축물을 조정할 수 있도록 합니다. 토호 테크놀로지 (TOHO TECHNOLOGY) 사전 청소기 (Pre Cleaner) 의 화학 클리닝 시스템은 고급 클리닝 제의 조합을 사용하여 가장 완고한 잔기가 웨이퍼 또는 마스크의 표면에서 제거되도록 합니다. 사용 된 화학 물질은 환경 친화적이며, 내장 계량 장치에 의해 제어되는 방식으로 적용됩니다. 이 과정에는 또한 린싱 단계 (Rinsing Stage) 가 포함되어 있는데, 이 단계는 탈이온화 된 물을 사용하여 남은 입자 또는 잔기를 린스합니다. 이 과정 의 마지막 단계 는 "핫 플레이트 '건조 이며, 이것 은 부가적 인 청소 의 가능성 을 열어 주거나 건조 과정 을 가속화 시킬 수 있는 가능성 을 열어 준다. 뜨거운 건조 "플레이트 '는 남아 있는 청소 화학 물질 을 증발 시켜, 표면 이 철저 히 깨끗 해지게 하는 데 도움 이 된다. 전반적으로, 프리 클리너 (Pre cleaner) 는 웨이퍼 및 마스크에 대한 우수한 클리닝 및 표면 준비를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 최적화된 물 제팅 시스템 (water jetting system) 과 상세한 화학 청소 공정 (detail chining process) 은 가장 완고한 잔기와 입자조차도 제거하여 깨끗하고 오염 된 자유 표면을 남깁니다. TOHO 기술 사전 청소기는 작동하기 쉽고, 매번 품질 결과를 제공합니다.
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