판매용 중고 TOHO TECHNOLOGY ME-11164 #9293021
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TOHO TECHNOLOGY ME-11164 (TOHO 기술 ME-11164) 는 혁신적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 고품질의 결과와 웨이퍼와 마스크 모두에서 오염 물질을 효율적으로 제거하도록 설계되었습니다. 이 고급 스크러버는 고압 스프레이 제트기, 수력 스프레이 클리닝, 초음파 및 UV 조사 (UV irradiation) 를 결합한 자동화된 다단 클리닝 프로세스로 설계되었습니다. 청소 과정 의 제 1 단계 에는 고압 "스프레이 제트 '를 사용 하는 것 이 포함 되는데, 이" 제트' 는 "웨이퍼 '와" 마스크' 에 청소 용액 을 뿌리고, 동시 에 표면 을 동요 시켜 존재 할 수 있는 입자 를 느슨하게 하는 데 사용 된다. 제 2 단계는 충격파 청소 기술을 사용하여 나머지 입자를 완전히 제거한다. 이 기술은 여러 충격파를 만들어 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 표면에 부착된 입자를 분해합니다. 청소 과정의 세 번째 단계는 수력 분무 청소 사용과 관련이 있습니다. 이 과정 에는 "웨이퍼 '와" 마스크' 에 가열 되어 분사 되어 남아 있는 모든 입자 를 제거 하는 특수 청소 "솔루션 '을 사용 하는 것 이 포함 된다. 청소 과정 의 네 번째 단계 는 초음파 (초음파) 를 사용 하여 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 표면 에 남아 있는 입자 를 분해 한다. 마지막으로, 청소 과정의 다섯 번째이자 마지막 단계는 UV 조사 (UV irradiation) 를 사용하여 남은 입자를 파괴하고 가능한 오염 물질이 제거되도록 합니다. 자동 클리닝 프로세스 외에도, ME-11164 에는 자동 차단 메커니즘 (Auto Shoff Mechanism) 및 청소 작업이 완료되면 시각적으로 사용자에게 경고하는 터치 감지 패널 (Touch-Sensitive Panel) 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 또한 이 고급 스크러버 (Advanced Scrubber) 는 사용자가 클리닝 프로세스에 대한 자세한 정보를 제공하고 각 단계에 사용되는 설정을 정확하게 제어할 수 있도록 하는 LCD 디스플레이 (LCD Display) 를 제공합니다. TOHO TECHNOLOGY ME-11164 (TOHO TECHNOLOGY ME-11164) 는 웨이퍼와 마스크를 위해 매우 효과적이고 자동화 된 스크러버가 필요한 실험실 또는 공장에 이상적인 선택입니다. 이 고급 스크러버 (Advanced Scrubber) 는 뛰어난 성능과 정확도를 제공하여 모든 웨이퍼 또는 마스크 클리닝 요구 사항에 적합한 옵션을 제공합니다.
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