판매용 중고 THE SYSTEM TS-LAFW-1000 #9378338
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장비 TS-LAFW-1000 (The Equipment TS-LAFW-1000) 은 웨이퍼와 마스크를 청소하고 유지하기 위해 설계된 다재다능하고 고정밀 스크러버입니다. 혁신적인 스크러빙 (scrubbing) 및 오염 제거 프로세스를 제공하여 대용량 제조 시설에 이상적인 도구입니다. TS-LAFW-1000은 독특한 3 단계 스크러빙 프로세스를 사용하여 생산 기계에 웨이퍼를 배치하기 전에 필요한 깨끗함과 표면 완벽을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼를 수용액의 고압 제트로 청소하고 고주파 진동으로 파퍼 표면에서 입자와 표면 오염 물질을 제거하는 초음파 스크러빙 단계 (ultrasonic scrubbing stage) 로 청소하는 습식 스크러빙 단계를 이용합니다. 마지막 단계 는 "웨이퍼 '오염 을 방지 하고" 웨이퍼' 저장 수명 을 증가 시키는 데 도움 이 되는 건조 단계 이다. 시스템 TS-LAFW-1000 (System TS-LAFW-1000) 은 내장 고해상도 비전 장치를 사용하여 웨이퍼 표면의 정확한 실시간 분석을 제공하고 최적의 성능을 위해 클리닝 매개변수를 자동으로 조정합니다. 이렇게 하면 가능한 가장 낮은 주기 시간으로 클린 (clean) 부품의 수율이 높아집니다. 게다가, 스크러버 에는 고급형 결함 탐지기 (Advanced Fault Detection Machine) 가 장착 되어 있어, 고장 을 막고 가치 있는 생산 시간 을 절약 할 수 있다. 청소실은 밀폐되어 있으며, 통합 여과 및 가스 포착 도구가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 오염 물질 이 스크러빙 (scrubbing) 환경 에 들어가지 못하게 하고, 최적 의 환경 온도, 압력, 습도 를 유지 하여 섬세한 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 최적 으로 처리 하는 데 도움 이 된다. 여과 및 "가스 '포획 자산 은 또한 위험 한" 가스' 와 입자 가 환경 에 방출 되기 전 에 제거 된다. TS-LAFW-1000 은 최고의 생산 효율성을 제공하며, 안정적이고 비용 효율적인 웨이퍼 (wafer) 처리 및 마스크 클리닝 솔루션을 필요로 하는 반도체 제조 시설에 적합합니다. 고급 기능 덕분에 THE Model TS-LAFW-1000은 대용량 생산 및 품질 보장을 위한 완벽한 도구입니다.
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