판매용 중고 TENNANT T5 #9311698

TENNANT T5는 반도체 제조에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 안정적이고 비용 효율적인 스크러빙 (scrubbing) 장비로, 생산성을 극대화하고 웨이퍼 및 마스크 클리닝과 관련된 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. T5는 전동식 웨이퍼 크래들과 크로스 암 베이스, 가이드 롤, 암 리프트 레버 등 액츄에이터 세트로 구성되어 있습니다. 자동 조절 드라이브 (autostage drive) 는 웨이퍼를 옆으로 이동시키고 전체 360도를 통해 웨이퍼를 회전하도록 설계되었습니다. 스크럽 헤드 (scrub head) 는 기판 손상없이 웨이퍼를 완전히 청소하기 위해 마모로 저항과 기판을 문지르도록 설계되었습니다. TENNANT T5는 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 작동합니다. 사용자는 원하는 클리닝 성능을 위해 압력 (Pressure), 속도 (Speed), 타이머 (Timer) 설정 등의 매개 변수를 선택할 수 있습니다. 사용자는 미리 정해진 웨이퍼 크기 (wafer size) 나 기타 기준에 따라 시스템을 자동으로 중지하고 시작하도록 선택할 수도 있습니다. 이 기계는 여러 층의 마스크 재질로 작동하고, 마스크 및 웨이퍼 크기를 최대 450mm까지 처리하며, 0.1 미크론 (미크론) 의 정확도까지 반복 할 수 있도록 설계되었습니다. 이를 통해 공정 일관성과 균일성이 크게 향상됩니다. T5는 습식 스크러빙 (wet scrubbing) 공정을 사용하여 건조기 또는 리디렉션이 필요하지 않은 상태에서 습식 입자를 제거하고 기질을 효율적으로 기질화합니다. 따라서 프로세스 시간이 크게 단축되고 최종 제품의 품질과 처리량이 향상됩니다. TENNANT T5에는 저압 안내, 저압 경고 및 비상 연동과 같은 내장 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이것은 개인 손상 또는 웨이퍼 및/또는 마스크 재료의 손상을 방지합니다. T5 는 프로세스 모니터링 및 제어가 가능한 데이터 수집 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 스크러빙 속도 (scrubbing speed) 및 압력 (pressure) 과 같은 작동 변수를 웨이퍼/마스크 통계와 함께 기록하여 추적성을 위한 프로세스 로깅을 활성화합니다. TENNANT T5는 오염을 줄이고, 수확량을 향상시키고, 프로세스 문서를 최대화하도록 설계된 매우 다양한 스크러빙 머신입니다. 이 도구는 깨끗한 웨이퍼와 마스크를 보장합니다. 그 효율성과 비용 효율성은 많은 기업에게 유리한 전반적인 경제적 이점을 산출합니다.