판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293830625

TEL / TOKYO ELECTRON SS-4
ID: 293830625
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Wafer scrubber, 8" 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON SS-4는 자동 기술을 사용하여 마이크로 일렉트로닉스 제조를 위해 웨이퍼와 마스크를 효율적으로 준비하는 비용 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장비 는 제조 공정 에 사용 하기 전 에 불순물 로부터 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 청소 하는 효과적 인 방법 을 제공 한다. 흡기 부분에는 청소할 웨이퍼 (wafer) 나 마스크를 배치하는 로드 테이블이 장착되어 있습니다. 그런 다음 TEL SS-4 (TEL SS-4) 는 특수 브러싱 메커니즘을 사용하여 웨이퍼 표면에서 파편을 들어올리거나 마스크를 통합 스크러빙 바구니에 넣습니다. 이 스크러빙 시스템 (scrubbing system) 은 표면 입자, 모공에 갇힌 입자 및 웨이퍼 또는 마스크 표면에 존재할 수있는 다른 잔해물을 제거하도록 설계되었습니다. 가장 효과적인 청소를 위해, TOKYO ELECTRON SS-4의 스크러빙 장치는 가압 공기 제트기와 화학 용매의 조합을 사용합니다. 공기제트의 압력은 입자를 재진입 (re-entrant) 특징에서 분리시키는 데 도움이되고, 용매는 잔류 파편을 분해하는 데 사용됩니다. 이러 한 두 가지 방법 의 결합 은, 표면 에 굳게 붙어 있을 수 있는 입자 를 느슨하게 하는 데 도움 이 된다. 일단 웨이퍼 또는 마스크가 충분히 문지르면 SS-4의 출력 컨베이어 벨트 (conveyor belt) 에 분배됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON SS-4 기계는 클린 룸 표준을 충족하도록 설계되어 있으며, 백만 당 10 개 미만의 입자가 들어 있는 환경에서 웨이퍼 및 마스크를 처리하는 데 적합합니다. "웨이퍼 '와" 마스크 스크러빙' 과정 은 세부적 으로 정확 히 주의 를 기울여야 하는 섬세 한 과정 이다. TEL SS-4는 이러한 목적으로 설계되었습니다. 건설에 사용 된 첨단 기술 (Advanced Technology) 은 입자가 추가 오염의 최소한의 위험으로 표면에서 효과적으로 제거되도록 보장한다. 또한, TOKYO ELECTRON SS-4 (TOKYO ELECTRON SS-4) 의 자동 설계는 여러 웨이퍼 또는 마스크를 짧은 시간 안에 처리 할 수 있으므로 산업 청소에 효율적이고 비용 효율적인 선택임을 의미합니다.
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