판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293814162

TEL/TOKYO ELECTRON SS-4 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 저장 및/또는 처리 중에 형성되는 네이티브 산화물 및 입자를 제거하여 반도체 웨이퍼와 마스크를 청소하고 유지하도록 설계된 자동 장비입니다. 이 시스템은 습식, 건식, 플라즈마 청소 기술로, 웨이퍼와 마스크를 빠르고 철저하게 청소합니다. 특히, 웨이퍼 스크러버 (wafer scrubber) 는 혁신적인 멀티 스테이지 절차를 사용하여 웨이퍼 및 마스크 영역에 도달하기 위해 효과적으로 청소합니다. 이 장치는 완전히 자동화되어 있으며, 하나의 제어판으로 작동할 수 있습니다. 자동 "프로그램 '설정을 통해 사용자는 특정 작업에 대한 클리닝 설정을 사용자 정의할 수 있습니다. 게다가, 그것 은 모든 재료 를 철저 히 청소 하는 데 도움 이 되는 자동 "린스 '주기 를 갖추고 있다. 출력은 고품질 결과를 보장하기 위해 지속적으로 모니터링됩니다. 습식 스크러빙 절차는 특수 청소 솔루션으로 코팅 된 일련의 침대로 구성됩니다. 그런 다음, 오염 물질 을 효과적 으로 청소 할 수 있는 초음파 작용 과 결합 된다. 드라이 스크러빙 공정은 드라이 클리닝 공정 (dry cleaning process) 과 플라즈마 스트림 (plasma stream) 에 의해 지원되는 기계적 스크러빙을 사용합니다. "플라즈마 '" 스트림' 은 오염 물질 의 구조 를 바꾸어 제거 하기 가 더 쉽다. 일단 오염 물질 을 제거 하면, 용제 와 "세제 '를" 웨이퍼' 에 첨가 하여 청소 한다. TEL SS-4는 강력하고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 다양한 클리닝 주기를 통해 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 자동 제거 사이클 (automatic purge cycle) 을 제어하여 비품을 철저히 청소합니다. 이 기계는 공정 (process) 조건을 모니터링하기 위해 온도와 습도 센서 (integrated temperature and humidity sensor) 를 장착한다. 이 도구는 가장 까다로운 생산 조건에서도 고품질, 반복 가능한 결과를 유지할 수 있습니다. 또한, 특정 애플리케이션에 맞게 다양한 유연성 옵션을 제공합니다.