판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293658182

TEL / TOKYO ELECTRON SS-4
ID: 293658182
웨이퍼 크기: 8"
Wafer scrubber, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON SS-4는 반도체 처리에 사용되는 정교한 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 입자 오염을 최소화하도록 설계된 첨단 스크러버 (scrubber) 기술을 활용하여 강인하고, 완고한 입자를 웨이퍼 표면에서 부드럽게, 스크러브 (scrub) 및 깨끗한 마스크 구성 요소를 최대한의 효율성과 최소한의 마찰로 부드럽게 제거합니다. 이 장치는 웨이퍼 스테퍼, 포토 마스크, 플라즈마 에칭 시스템, 스핀 클리너 및 기타 구성 요소와 같은 다양한 재료를 자동으로 스크러빙하는 데 이상적인 솔루션입니다. 이 장비는 소형 디자인 (compact design) 을 특징으로하며 장기간 사용할 수 있도록 내구성과 안정성을 보장하는 견고한 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 제작되었습니다. 또한 최첨단 소프트웨어 플랫폼을 통합하여 운영 및 유연한 프로그래밍을 간편하게 수행할 수 있습니다. TEL SS-4 (TEL SS-4) 에는 편리한 사용자 인터페이스 (적절한 탐색 및 매개 변수 보기를 위한 대형 터치스크린 디스플레이) 가 제공되며, 쉽게 모니터링할 수 있도록 스크러빙 사이클의 오디오/시각적 알림을 제공합니다. 통합 오염 모니터링 센서를 사용하여, 이 장치는 입자 오염을 안전하게, 정확하게 감지하고, 필요한 스크러빙 임계값에 도달하면 사용자에게 알립니다. 고급 스크러버 (scrubber) 는 매우 효율적인 브러쉬 스크러빙 액션을 사용하여 다양한 웨이퍼 및 마스크에 대한 뛰어난 클리닝 기능을 제공합니다. 또한 조정 가능한 스크럽 방향, 조절 가능한 스크럽 압력, 가변 스크럽 속도 (스크럽 속도) 를 갖추고 있어 스크러빙 결과를 최적화할 수 있습니다. 이 장치에는 스크러빙 효율성 향상을 위해 기존 브러쉬, 다이아몬드 브러쉬, 거품 브러쉬 등 필요에 따라 변경할 수 있는 여러 유형의 브러쉬 (브러쉬) 가 포함되어 있습니다. 도쿄 전자 SS-4 (TOKYO ELECTRON SS-4) 는 입자를 포획하고, 공기 입자의 영향을 줄이고, 공정 품질 및 청소 환경을 개선하는 통합 진공 필터 구성 요소를 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 미립자 축적을 방지하기위한 슬러리 필터 (slurry filter), 가공 물 여과 장치 (process water filtration unit) 및 폐수 방전을 줄이는 데 도움이되는 린스 워터 머신 (rinse water machine) 도 포함됩니다. 또한, SS-4는 현재 CE 및 FCC 안전 규정을 준수하며 기존 스크러버 및 카세트 시스템과도 호환됩니다. 탁월한 성능과 뛰어난 신뢰성을 제공하는 효율적이고 효율적인 자동 스크러버 (Automated Scrubber) 로, 모든 반도체 처리 설비를 위한 귀중한 도구입니다.
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