판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293658155

TEL/TOKYO ELECTRON SS-4는 반도체 제조 산업의 웨이퍼 및 마스크 청소용으로 설계된 웨이퍼 & 마스크 스크러버입니다. 습식 및 건식 스크러빙 방법을 결합하여 표면의 오염 물질을 효과적으로 제거합니다. 장비는 여러 개의 팁 블레이드와 강모를 갖춘 스테인리스 스틸 스크럽 헤드 (stainless steel scrubbhead) 로 구성되며, 특정 패턴으로 이동하여 오염 물질을 분리하고 긁습니다. 스크러브 헤드 (scrubbhead) 에는 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 크기를 감지하는 센서가 장착되어 있어 브러시가 위치를 조정하여 최상의 클리닝 결과를 제공합니다. 또한 TEL SS-4 (TEL SS-4) 는 고정밀 메인 스핀들 (main spindle) 을 특징으로하며, 스크러빙 중에 웨이퍼와 마스크를 완벽하게 고정하고 회전시킬 수 있습니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 모든 표면 이 효과적 으로 깨끗 해진다. 도쿄 전자 SS-4 (TOKYO ELECTRON SS-4) 는 제어 및 조정 가능한 공정 영역을 가지고 있으며, 운영자와 스크러빙 목적으로 깨끗하고 안전한 환경을 제공합니다. 조정 가능한 공정 속도를 통해 스크러빙 작업을 정밀하게 완료 할 수 있습니다. 이 시스템에는 습식 스크러빙 작업을위한 청소 유체 저수지가 장착되어 있습니다. 일반적으로 DI 물과 가벼운 세제의 최적의 혼합물 인 유체 (fluid) 는 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 표면에서 오염 물질을 들어 올리고 운반하는 데 사용됩니다. 스크러빙 프로세스는 특수, 고정밀 클리닝 모션 컨트롤러 (cleaning motion controller) 에 의해 제어되며, 클리닝 프로세스의 정확성과 반복성을 보장합니다. SS-4는 안정적이고 안전한 장치로, 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이합니다. 고급 기술 (Advanced Technology) 을 제공하여 운영자에게 프로세스 속도와 압력을 조정할 수 있는 유연성, 특정 클리닝 요구에 맞게 클리닝 주기 (Cleaning Cycle Time) 및 매개변수를 제어할 수 있습니다. 성능 테스트 (Performance Testing) 및 검증 (Validation) 은 모든 프로세스 매개변수가 업계 최고 표준에 부합하는지 확인하기 위해 시스템에서 수행할 수도 있습니다. 요약하면, TEL/TOKYO ELECTRON SS-4는 습식 및 건식 스크러빙 방법을 모두 사용하여 웨이퍼 및 마스크를 청소하도록 설계된 강력하고 비용 효율적인 클리닝 도구입니다. 업계 최고의 표준을 충족할 수 있는 첨단 기술을 제공하는, 안정적이고, 안전하며, 정확한 자산입니다.