판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300z #293649537

TEL/TOKYO ELECTRON NS 300z는 고성능 기판 청소를 제공하는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 입자 제거가 우수하여 입자 오염을 고급 생산 공정에 필요한 나노 (nano) 수준으로 낮출 수 있습니다. 이 장비는 정확하고, 낮은 수준의 오염 제어를 제공하도록 설계되었으며, 깨끗하고 균일 한 필름 커버리지를 보장하는 독특한 와이퍼 (wiper) 시스템을 사용합니다. 이 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 또한 방사형 흐름 제어 (radial-flow control) 덕분에 섬세한 균형의 스핀과 압력으로 스핀 프로파일을 생성하여 필름에서 똑같이 깊은 습기 작용을 가능하게합니다. 이 장치는 웨이퍼 (wafer), 마스크 (mask) 와 같은 기질의 고정밀 스크러빙을 제공하여 오염 제어를 극대화하는 효율적이고 정밀한 기판 청소 프로세스를 제공합니다. 내장형 장치 계층 마이크로컨트롤러 (MicroColler) 와 사용이 간편한 터치 스크린 (Touch Screen) 으로 설계되어 사용자가 스크러빙 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 견고하고 현대적인 건설로 유지 보수가 저조합니다. 이 기계는 또한 독특한 버블 펌프 도구 (Bubble Pump Tool) 를 특징으로하며, 스크러빙 프로세스 동안 공기 버블을 웨이퍼/마스크로 펌핑하여 기판 표면에 정적 전하가 없으므로 먼지 및 기타 오염물로부터 안전하게 유지 할 수 있습니다. 또한, 버블 펌프 자산 (Bubble Pump Asset) 은 스크러빙 사이클 후 기판을 린징할 필요가 없습니다. 이 모델은 또한 강력한 환기 (ventilation) 및 냉각 장치 (cooling equipment) 를 제공하여 고온 기판에서 작동하는 데 필요한 안정적인 냉각을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 낮은 진동 설계를 갖추고 있으며, 최소한의 진동을 보장하고, 웨이퍼와 마스크를 최대한 낮게 손상시킬 수 있도록 설계되었습니다. TEL NS 300z 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 효율적이고 정확하며 낮은 수준의 오염 제어를 제공합니다. 이 장치는 고정밀 스크러빙을 위해 설계되었으며, 안정적이고 유지 보수가 적은 작동을 제공합니다. 고급 버블 펌프 머신 (Bubble Pump Machine), 기판 냉각 도구 (Substrate Cooling Tool) 및 진동 감소 자산 (Vibration Reduction Asset) 과 함께 강력하고 현대적인 구조를 통해 TOKYO ELECTRON NS300Z는 모든 기판이 깨끗하고 안전하며 신뢰할 수 있습니다.