판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300z #293649536

TEL / TOKYO ELECTRON NS 300z
ID: 293649536
Wafer scrubber.
TEL/TOKYO ELECTRON NS 300z는 단일 웨이퍼 처리에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 2 마이크로미터 정도의 두께를 가진 초박형 웨이퍼 클리닝 (cleaning ultra-thin wafers) 과 같은 작업에 적합합니다. 이 장비 는 특허 를 받은, 독점 청소 방식 을 이용 하여, 실리콘, 석영, 기타 이국적 인 재료 들 을 포함 하여, 효율적 이고 안전 한 방법 으로 다양한 "웨이퍼 '를 청소 한다. 이 시스템에는 스크러버 작동을 최적의 성능으로 유지하기 위해 로봇 암 (robotic arm), 자동 노즐 캐리어 (automatic nozzle carrier) 및 자동 재교정 장치 (automated recalibration unit) 가 포함됩니다. TEL NS 300z 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 +/- 2um 내에서 균일하고 균일하게 다양한 크기의 웨이퍼를 청소하도록 설계되었습니다. 그것 은 "웨이퍼 '표면 에" 잔류' 를 남기지 않게 하는 강력 한 흡입기 를 갖추고 있다. 또한, 전체 80 ° 노즐 커버리지를 사용하면 전체 웨이퍼를 철저히 청소할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 자동 노즐 캐리어 정렬, 자동 교정 도구 (automated calibration tool) 및 조정 가능한 프로세스 시간을 제공하여 사용자가 철저한 청소를 달성하는 데 필요한 시간을 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON NS300Z (TOKYO ELECTRON NS300Z) 의 추가 안전 기능에는 정전기 방지, 진동 방지 프레임, 조절 가능한 각도 보호 장벽, 사용자가 스테이션을 떠날 때 활성화되는 자동 차단 기능 등이 있습니다. 세척기 (scrubber) 는 또한 세척 용액의 원자 화 (atomization) 를 최적화하기 위해 자체 활성화 된 자석을 사용하여 확장 된 노즐 팁 수명을 자랑합니다. 마지막으로, 독특한 저압 흐름 (low-pressure flow) 자산은 웨이퍼의 오해에 대한 보호를 추가하고 철저하고 효율적인 청소 세션을 보장합니다. 결론적으로, TEL NS300Z 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 전례없는 수준의 안전성과 성능을 갖춘 고급 클리닝을 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델은 사용하기 쉽고, 다양한 기능을 통해 다양한 웨이퍼 (wafer) 유형에 대한 효율적이고 정확한 클리닝을 용이하게 합니다. 저압 유동 장비와 조절 가능한 각도 보호 장벽 (adjustable-angle protective barrier) 외에도, NS 300z에는 최소한의 엉망이나 잔기로 철저하고 균일 한 청소를 보장하는 독점 청소 방법이 제공됩니다.
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