판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #9372258

TEL/TOKYO ELECTRON NS 300은 반도체 생산을 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버 유형입니다. 우수한 청소 기능으로 소규모 생산 실행에 적합합니다. 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 표면의 모든 모서리, 오목 및 간격을 청소하는 고압 스프레이 노즐을 사용하여 작동합니다. 이를 통해 모든 오염 물질과 잔기가 효과적이고 효율적으로 제거됩니다. 스크러버는 6.2 baar (bar absolute) 의 압력과 37 리터/시간의 유속으로 작동합니다. 2 개의 펌프가 장착되어 있으며, 하나는 프로세스 솔루션 흐름에, 다른 하나는 솔루션 재순환에 사용됩니다. 또한 "스크러버 '에는" 스프레이' 각도 와 "스프레이 '주파수 를" 응용프로그램' 의 필요 에 따라 선택 할 수 있도록 조정 가능 한 "스프레이 노즐 '이 있다. TEL NS 300의 컴팩트하고 가벼운 디자인은 깔끔한 청결을 유지하기 위해 클린 룸 (Clean Room) 환경을 위해 특별히 설계되었습니다. 3, 4, 5, 6 및 12 인치를 포함한 다양한 웨이퍼 및 마스크 크기를 지원합니다. 편의상, 스크러버는 한 번에 최대 3 개의 카세트를 수용 할 수 있으며, 수평 또는 수직으로 적재 할 수 있습니다. 웨이퍼와 마스크를 만들 때, 깨끗함을 보장하는 것이 중요합니다. 도쿄 전자 NS300 (TOKYO ELECTRON NS300) 은 고압 청소 기능과 조정 가능한 노즐로 깨끗함을 유지하는 안정적인 방법을 제공합니다. 또한, 컴팩트하고 가벼운 디자인은 클린 룸 환경에 적합하며, 2-펌프 시스템은 프로세스 솔루션을 효율적으로 재순환합니다. 광범위한 지원 웨이퍼 및 마스크 크기와 최대 3 개의 카세트를 수용 할 수있는 기능으로, TOKYO ELECTRON NS 300은 반도체 생산에서 깨끗한 웨이퍼와 마스크를 빠르고 효율적으로 스크럽합니다.