판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #9361632

TEL/TOKYO ELECTRON NS 300은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장치는 스크러빙 액션을 통해 낮은 입자 수를 생성 할 수 있으며, 이로써 IC 수율 및 신뢰성이 향상됩니다. 자동화된 3축 모션 컨트롤 시스템 (정확도 향상) 과 듀얼 사이드 스크럽 암 (scrub arm) 및 상단 스크럽 제트 (scrub jet) 기술이 특징입니다. TEL NS 300에는 초기 스크럽, 버핑, 세척주기 등 3 단계의 스크러빙이 장착되어 있습니다. 이 기계는 GaAs, Si, polyimide, epoxy 및 접착제를 포함한 다양한 재료를 청소하도록 설계되었습니다. 3 축 동작 제어 시스템 (motion control system) 을 사용하여 스크럽 암을 웨이퍼 서피스를 가로 질러 정확하게 이동합니다. 듀얼 사이드 스크럽 암 (dual-side scrub arm) 과 상단 스크럽 제트 (top-side scrub jet) 기술은 웨이퍼 표면에서 입자와 오염 물질을 효과적으로 제거하고 웨이퍼의 손상을 피하도록 설계되었습니다. 3 단계 스크러빙 사이클 (scrubbing cycle) 은 먼저 웨이퍼 표면에서 입자와 유기 오염 물질을 제거 한 다음 완충, 마지막으로 세척 사이클을 제거하여 입자를 더욱 줄입니다. TOKYO ELECTRON NS300 은 진공 청소기, 백스캐터 내성 필터, 필터 끄기 시간 센서 등 다양한 안전 기능으로 설계되었습니다. 진공 청소기 (vacuum cleaner) 는 오염 된 공기 또는 먼지가 스크러버에 들어가는 것을 방지하는 반면, 백스캐터 내성 필터는 장비를 미세한 입자와 UV 방사선 손상으로부터 보호합니다. 여과 시간 (filter-off time) 센서는 추가 오염을 최소화하기 위해 일정 시간 후에 기계의 작동을 자동으로 중지합니다. 이 기계는 컴팩트하고 효율성이 높으며, 에너지 효율 비율은 최대 20 입니다. 또한 다양한 제어 (Control) 기능을 통해 사용자가 즉석에서 조정할 수 있습니다. 조정 가능한 스크러빙 속도 (scrubbing speed) 와 조절 가능한 스크럽 패드 압력 (scrub pad pressure) 은 스크러빙 사이클의 힘을 증가시키거나 감소시켜 사용자가 웨이퍼의 특정 요구 사항에 맞게 스크러빙 프로세스를 조정할 수 있습니다. 고급 스크러빙 (scrubbing) 기능 외에도 TEL/TOKYO ELECTRON NS300 은 사용 및 유지 보수가 용이하며, 구성 요소 자동 클리닝 및 유지 보수가 기본으로 제공됩니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 그래픽 디스플레이 (Graphical Display) 는 항상 명확하고 간결한 지침을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 높은 수준의 프로세스 제어 (Process Control) 를 유지할 수 있으므로 문제를 빠르고 쉽게 해결할 수 있습니다. 전반적으로, NS 300 은 매우 고급적이고 신뢰할 수 있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 다양한 애플리케이션에서 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 (High Level) 제어 기능과 결합된 탁월한 클리닝 기능을 통해 사용자가 빠르고 정확하게 웨이퍼를 청소하여 가장 효율적이고 경제적인 방식으로 고품질 (High-Quality) 제품을 생산할 수 있습니다.