판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #9228401

TEL/TOKYO ELECTRON NS 300은 반도체 공정 작동을 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 고효율 저입자 처리를 가능하게합니다. TEL NS 300 은 자동화된 wafer 스크러빙 (scrubbing) 작업을 제공하며, 이는 수동 접근 방식이 비효율적일 수 있는 더 큰 프로세스 실행에 매우 중요합니다. 여기에는 프로세스 챔버에 로드하기 전에 기판의 가장자리를 스크러빙 (scrubing) 하고, 중고 홀더를 청소하고, 처리 후 클리닝 작업을 마무리하는 것이 포함됩니다. 스크러버에는 웨이퍼 (wafer) 와 프로세스 홀더를 지원하는 메인 플랫폼 (main platform) 과 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크를 안전하게 잡고 스크러빙하기 위해 회전하는 "암 (arms)" 이 장착되어 있습니다. 수평 또는 수직 회전이 가능하며, 속도는 7000 RPM입니다. 스크러버에는 에칭 솔루션 (etching solutions) 을위한 전용 탱크 장비가 있으며, 자동 채우기 및 배수 시스템이 있습니다. 스크러버에는 액체 및 분말 기반 클리닝 제를 모두 처리 할 수있는 2 개의 세척 디스펜서가 장착되어 있습니다. 이들은 높은 rpm에서 회전하는 동안 기판 및 공정 홀더에 분배됩니다. "스크러버 '는 입자 오염 을 최소화 하는 효율적 인 특징 들 을 가지고 있다. 이를테면, 입자 를 가두어 전달" 컨테이너' 에 증착 시키는 통합 진공 장치 이다. 스크러버 (scrubber) 는 0.5 m 이상의 입자를 모니터하는 입자 카운터 (particle counter) 와 공인 원격 위치에서 스크러버를 제어 할 수있는 고급 원격 제어 머신 (advanced remote control machine) 을 특징으로합니다. NS 600 은 입자 오염을 최소화하기위한 SEMI S2 표준을 준수하며, 가장 효율적입니다. 업계를 선도하는 이 제품은 청결하고 효율적인 반도체 (semiconductor) 프로세스 운영 개발을 주도하고 있습니다.