판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #293815274

TEL / TOKYO ELECTRON NS 300
ID: 293815274
웨이퍼 크기: 12"
Scrubber, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON NS 300은 탁월한 프로세스 제어 및 유연성을 제공하는 고급 에처/애셔입니다. MGC (multi-gas control) 를 갖춘 통합 자동화 시스템입니다. MGC 기능은 사용자에게 효과적인 이방성 에칭 프로세스를 제공합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 다른 재료의 에칭을 위해 화학 가스와 물리적 공정을 모두 사용하여 모든 유형의 생산 환경에 적합합니다. TEL NS 300은 광범위한 에치 속도를 제공하며, 모든 유형의 에칭 응용 프로그램에서 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. etcher/asher의 핵심에는 4 개의 챔버가 있습니다. 이 챔버는 기판 로드 및 언로드, 사전 청소 및 사후 에치 프로세스에 사용됩니다. 챔버는 또한 균일 한 에칭과 뛰어난 프로세스 제어를 달성하도록 설계되었습니다. 방에는 여러 가지 플라즈마 소스 (plasma source) 와 가스 제어 시스템 (gas control system) 이 있으며, 에칭 과정을 효과적이고 정확하게 제어합니다. 또한 etcher/asher 는 프로세스 제어 및 모니터링을 위한 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 사용자는 프로세스를 모니터링하고, etching 매개변수를 조정하고, 프로세스의 모든 단계에서 필요한 변경 (change) 을 수행할 수 있습니다. 도쿄 전자 NS300 (TOKYO ELECTRON NS300) 에는 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있어 실험실이나 산업 환경에서 사용할 수 있습니다. 전반적으로 TEL NS300 etcher/asher는 다양한 재료를 에칭하기위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 다양한 에치 레이트, 탁월한 프로세스 제어, 안전하고 친숙한 인터페이스를 제공합니다. TOKYO ELECTRON NS 300은 모든 에칭 응용 분야에 적합한 선택입니다.
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