판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #293802342

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON NS 300은 반도체 장치 청소를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 "시스템 '은" 스크러빙' 즉 연마제 청소 를 이용 하여 "웨이퍼 '와" 마스크' 표면 에서 입자, 화학 물질 및 기타 오염 을 제거 한다. "웨이퍼 '와" 마스크' 의 양면 을 문지르면 더 높은 처리량, 개선 된 포토레지스트 '제거, 더 나은 청소 제어 를 얻을 수 있다. TEL NS 300은 수평 스크러빙 플랫폼을 갖추고 있으며, 웨이퍼와 마스크 모두에 대해 더 크고 안정적인 스크러빙 표면을 제공합니다. 플랫폼에는 3 개의 스크럽 챔버가 있으며, 각 챔버에는 독립적 인 스크러빙 솔루션이 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 "와퍼 '나" 마스크' 표면 에서 입자 와 오염 을 최적 으로 제거 할 수 있도록 정확 하고 조정 가능 한 "스크러빙 '동력 과 속도 를 얻을 수 있다. 또한 높은 수준의 다용도 및 기능을 제공하여 여러 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 를 동시에 스크러빙할 수 있습니다. "스크러버 '는" 와퍼' 나 "마스크 '의 질 을 낮출 수 있는" 스크래치', 먼지 및 기타 오염 물질 과 같은 입자 탈취 의 위험 을 최소화 하기 위해 설계 되었다. 스크러빙 (scrubbing) 동안, 플랫폼에는 부드러운 액체 흐름이 침수되어 고속 스크러빙 (scrubbing) 공정에서 생성 된 입자가 제거되고 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 표면에 입자가 남아 있지 않습니다. 최고 의 효율성 과 효과 를 얻기 위해, "스크러버 '는" 와퍼' 나 "마스크 '의 표면 에 있는 크기 가 다른 입자 들 을 검출 하는" 스마트 검출 "장치 를 갖추고 있어" 스크러버' 설정 을 즉시 조정 할 수 있다. TOKYO ELECTRON NS300 (TOKYO ELECTRON NS300) 은 또한 내장 된 충격 흡수 진공 시스템을 특징으로하여 입자가 공중화되고 반도체 표면을 준수하지 못하게합니다. 이것은 오염의 잠재적 위험을 크게 줄이고 안전하고 신뢰할 수있는 스크러빙 (scrubbing) 작업을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 스크러빙 제로서 액체 (liquid) 와 가스 (gasse) 의 사용과 호환되므로 청소 공정의 유연성이 향상됩니다. TEL NS300 은 반도체 업계에서 안정적이고 다양한 스크러빙 옵션으로 입증되었습니다. 내구성을 보장하기 위해 강력한 합금 소재 (strong alloy material) 로 제조되었으며, 입자 제거 개선 및 서비스 수명 연장 (extended service life) 으로 높은 처리량을 제공 할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON NS300 은 여러 개의 스크럽 챔버 (scrub chamber) 와 조절 가능한 스크러빙 속도 (scrubbing speed) 를 통해 웨이퍼와 마스크를 정확하고 효과적으로 정리하고 최적의 품질 제어를 보장할 수 있는 기능을 제공합니다.