판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta #67641

텔/도쿄 전자 셀레 스타 (TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta) 는 반도체 산업에 사용되는 포토 마스크 및 웨이퍼의 정확하고 신뢰할 수있는 청소에 중점을 둔 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 웨이퍼 청소에 탁월한 속도와 효율성을 제공합니다. TEL Cellesta에는 쿼츠, 광학 플랫, 쿼츠, 유리 등 다양한 포토 마스크를 효과적으로 청소하는 4 가지 모델이 있습니다. TOKYO ELECTRON Cellesta는 마스크 및 웨이퍼 표면을 불화 수소와 같은 용액으로 청소하는 공정 인 습식 에칭을 사용합니다. 젖은 "에칭 '과정 은" 포토마스크' 에 결함 을 일으킬 수 있는 입자 와 오염 물질 을 제거 하는 데 도움 이 된다. 최종 제품의 품질을 유지하면서 와퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 에 완벽한 인쇄를 보장합니다. Cellesta는 3 단계 프로세스를 사용하여 적절한 청소를 보장합니다. 첫 단계 에서, 화학적 "스크러버 '는 식각 용액 을 받아들이기 위해" 웨이퍼' 표면 을 준비 시킨다. 이것 은 모든 오염 물질 을 지표면 에서 방출 하는 데 도움 이 되며, 이 모든 오염 물질 은 두 번째 단계 인 온화 한 습식 "에칭 '을 할 준비 가 되어 있다. 두 번째 단계 는 정밀 하고 균일 한 "노즐 '로" 에칭' 용액 을 "웨이퍼 '표면 에 뿌린다. 이것 은 화학적 조성물 이나 민감 한 광학적 특성 을 손상 시키지 않고 "웨이퍼 '로부터 입자, 오염 물질, 유기 잔기 를 용해 시키는 데 도움 이 된다. 세 번째 단계 에서, TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta 는 고에너지 빔 을 사용 하여 에칭 용액 을 증발 시킴 으로써 건조 과정 을 가능 하게 한다. 또한 TEL 셀레 스타 (TEL Cellesta) 에는 추가 탈산화 모듈이 있으며, 이는 자외선 방사선을 사용하여 마스크 및 웨이퍼 표면의 잔여 오염 물질을 감소시킵니다. 이렇게 하면 더 나은 에칭 (etching) 솔루션을 만들고 클리닝 시간을 단축할 수 있습니다. 게다가 첨단 기술 제어 시스템 (high-tech control system) 은 에칭 솔루션의 화학적 사용량을 최소화하고, 폐기물과 비용을 최소화하는 데 도움이 됩니다. 전체적으로 TOKYO ELECTRON Cellesta는 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 포토 마스크 및 웨이퍼를 매우 정확하고 정확하게 청소하는 데 도움이됩니다. 최종 제품의 화학적 조성 및 광학적 특성을 유지하는 데 도움이됩니다.