판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta+ #293757171
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ID: 293757171
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Single wafer processor, 12"
Process flow: DSP, SC1, IPA
(12) Chambers
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta + 는 반도체 산업의 정점을 나타내는 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 반도체 생산 장비의 세계적 공급 업체 인 TEL Limited (TOKYO ELECTRON) 가 개발 한 TEL Cellesta + 는 고급 반도체 제조 공정의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 이 혁신적인 장비는 탁월한 청소 성능, 생산성 향상, 뛰어난 신뢰성 (Exceptional Relessibility) 을 제공하여 높은 수율과 공정 효율을 달성하려는 반도체 제조업체에게는 없어서는 안될 도구입니다. TOKYO ELECTRON 셀레스타 (Cellesta) + 스크러버 (Scrubber) 는 고급 청소 기술로, 여러 가지 스크러빙 방법을 결합하여 웨이퍼와 마스크에서 오염 물질을 철저하고 효율적으로 제거합니다. 이 시스템은 화학, 기계, 메가 소닉 클리닝 기술의 조합을 사용하여 가장 어려운 프로세스 잔기 (process residue) 및 입자 (particle) 에도 비교할 수없는 클리닝 결과를 얻습니다. 이 포괄적 인 청소 방식을 통해 Cellesta + 는 최첨단 반도체 장치에 필요한 엄격한 청결 표준을 충족시켜 높은 장치 안정성 및 성능을 보장합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta + 의 주요 특징 중 하나는 고급 웨이퍼 처리 장치 (Advanced Wafer Handling Unit) 로, 청소 과정에서 웨이퍼 파손 및 입자 생성을 최소화하도록 설계되었습니다. 이 기계는 로봇 처리 (robotic handling) 기능을 통해 정확한 웨이퍼 조작과 부드러운 웨이퍼 전송을 가능하게하여 손상 및 오염 위험을 줄입니다. 또한, 웨이퍼 처리 도구 (Wafer Handling Tool) 에는 고급 센서와 모니터링 시스템 (Monitoring System) 이 장착되어 있어 최적의 클리닝 성능과 프로세스 제어를 보장하며, 자산의 안정성과 효율성을 더욱 향상시킵니다. TEL 셀레스타 + 스크러버 (TEL Cellesta + Scrubber) 는 탁월한 클리닝 기능 외에도 반도체 제조업체가 탁월한 프로세스 일관성과 반복 성을 달성 할 수있는 고급 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 이 모델에는 지능형 프로세스 모니터링 및 제어 (Control) 기능이 장착되어 있어 클리닝 솔루션 농도, 흐름 속도, 온도 등 주요 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 고급 프로세스 제어 (advanced process control) 기능을 통해 운영자는 클리닝 프로세스를 최적화하고, 가변성을 최소화하며, 운영 실행에 걸쳐 일관된 클리닝 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 TOKYO ELECTRON Cellesta + 스크러버 (Scrubber) 는 높은 처리량과 생산성을 제공하도록 설계되어 생산성이 요구되는 반도체 제조업체에 적합합니다. 이 장비는 모듈식 (modular) 설계를 통해 특정 생산 요구를 충족할 수 있도록 확장성과 사용자 지정이 용이하며, 제조업체가 다양한 프로세스 요구사항과 통합 시나리오에 맞게 시스템을 조정할 수 있습니다. 이러한 유연성과 확장성으로 인해 Cellesta + 스크러버는 생산 효율성, 경쟁력 향상을 추구하는 반도체 제조업체를 위한 다용도, 비용 효율적인 솔루션이 되었습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta + 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 반도체 청소 기술을 크게 발전시켜 고급 반도체 제조 공정에 탁월한 성능, 안정성 및 생산성을 제공합니다. TEL 셀레스타 + 스크러버 (TEL Cellesta + Scrubber) 는 최첨단 청소 기술, 고급 프로세스 제어 기능, 높은 처리량 등을 활용하여 반도체 제조업체가 우수한 청소 결과 달성, 생산 프로세스 최적화, 장치 신뢰성 및 성능 향상 등의 이점을 제공합니다.
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