판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta+ #293757169
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ID: 293757169
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Single wafer processor, 12"
Process flow: DSP, SC1, IPA
(12) Chambers
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta + 는 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 반도체 제조 공정의 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해 뛰어난 청소 성능을 제공합니다. 첨단 기술을 혁신적인 기능과 결합한 고도로 정교한 이 장비는 집적회로와 다른 반도체 (반도체) 제품의 제작에서 높은 생산성, 효율성을 보장합니다. TEL 셀레스타 + 스크러버 (TEL Cellesta + Scrubber) 의 주요 특징 중 하나는 최첨단 청소 기능으로, 웨이퍼와 마스크에서 다양한 유형의 오염 물질 및 입자를 제거하는 데 필수적입니다. 스크러버 (scrubber) 는 물리적 (physical) 및 화학적 (chinical) 청소 방법의 조합을 사용하여 깨끗한 수준을 달성하여 반도체 장치의 전체 수율과 품질에 기여합니다. 이 장비에는 고급 스크러빙 브러쉬 (scrubbing brushe) 와 노즐 (nozzle) 이 장착되어 있어 섬세한 웨이퍼 표면을 부드럽고 효과적으로 청소할 수 있습니다. 이러한 부품은 전체 웨이퍼 (wafer) 에 균일한 클리닝을 보장하고, 클리닝 과정에서 손상이나 결함의 위험을 최소화하기 위해 신중하게 설계되었습니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 는 다양한 유형의 오염 물질 및 공정 요구사항을 수용할 수 있는 다양한 맞춤형 클리닝 매개변수와 옵션을 제공합니다. TOKYO ELECTRON 셀레스타 + 스크러버 (Cellesta + Scrubber) 는 뛰어난 청소 성능 외에도 지능형 제어 시스템 및 자동화 기능을 통합하여 청소 프로세스를 간소화하고 생산성을 최적화합니다. 이 장비에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 소프트웨어 제어 (software control) 가 장착되어 있어 운영자가 손쉽게 청소 작업을 구성하고 모니터링할 수 있으며, 수작업을 최소화하면서 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 게다가, "스크러버 '는 반도체 제조 시설 에 필요 한 엄격 한 청결 과 안전 표준 을 충족 시키도록 설계 되었다. 이 장비에는 첨단 여과 및 화학 관리 시스템 (Advanced Filtration and Chemical Management Systems) 이 장착되어 있어, 화학 물질과 오염 물질의 효과적인 제거 및 폐기를 보장하며, 교차 오염 및 환경 영향의 위험을 최소화합니다. 셀레스타 + 스크러버 (Cellesta + scrubber) 의 또 다른 주요 장점은 모듈식 설계로, 기존 반도체 생산 라인과 프로세스 흐름에 쉽게 통합 할 수 있습니다. 이 장비는 특정 처리량 (throughput) 및 청소 (cleaning) 요구 사항을 충족하도록 맞춤 구성할 수 있으며, 다양한 반도체 제조 어플리케이션에 적응할 수 있습니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta + 스크러버 (Scrubber) 는 웨이퍼 및 마스크 클리닝 기술이 크게 발전하여 반도체 제조업체에 최고의 성능, 안정성, 유연성을 제공합니다. 반도체 (반도체) 기술이 지속적으로 발전하고 차세대 반도체 (반도체) 소자가 발전하는 데 중요한 역할을 하는 장비다.
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