판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta+ #293637143

TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta+
ID: 293637143
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
Single wafer processor, 12" (4) Loadports (20) Chambers 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta + 는 고순도 반도체 및 집적 회로 제조를 위해 설계된 장비입니다. 이 시스템은 그 과정에서 사용되는 웨이퍼와 마스크를 청소, 스크러빙, 씻을 수 있습니다. 최대한의 효율성을 위해 프로그래밍 가능한 소화기 (sanitizing) 와 스크러빙 (scrubbing) 시간을 통해 다양한 크기의 웨이퍼를 처리할 수 있는 완전 자동화되고 효율적인 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. TEL Cellesta + 는 ProCleaner 유닛, ProScrubber 유닛 및 파편 수집 트레이로 구성됩니다. ProCleaner는 이중 탱크 장치를 사용하여 정확한 압력 및 온도 조절 물을 제공합니다. 이것은 고품질 웨이퍼 및 마스크 클리닝을 달성하는 데 도움이됩니다. ProScrubber에는 웨이퍼/마스크 스크러빙 핀이 장착되어 있으며, 정밀한 청소를 위해 산, 알칼리 및 중성 스크러빙 액체를 사용할 수 있습니다. 또한 ProScrubber (ProScrubber) 는 스크러빙 시간을 줄이기 위해 스크러빙 솔루션에 대한 온도 및 압력 제어를 수행 할 수 있습니다. 파편 수집 트레이는 스크러빙 과정으로 인해 남은 입자를 수집합니다. TOKYO ELECTRON Cellesta + 는 사용자 친화적이고 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 이 제품은 터치 패널 디스플레이 (Touch Panel Display) 와 함께 설치되며, 연산자가 필요한 설정을 빠르고 쉽게 선택할 수 있습니다. 또한 사용자가 기계의 상태 (예: 스크러빙 프로세스의 진행 상황, 탱크의 남은 솔루션 수준) 를 모니터링할 수 있습니다. 이 도구에는 온도 센서, 압력 밸브, 기타 안전 기능 (예: 다양한 안전 기능) 도 장착되어 있습니다. 이러한 안전 기능은 물 누출 및 오염 가능성을 줄이는 데 도움이됩니다. 전반적으로, 셀 레스타 + (Cellesta +) 는 반도체 및 IC 제조에 사용되는 웨이퍼 및 마스크의 청소 및 스크러빙을위한 고도로 자동화되고 효율적인 프로세스를 제공하도록 설계된 고급 자산입니다. 정확한 압력과 온도 조절 물, 온도, 압력 조절 스크러빙 솔루션, 다양한 안전 기능 (Safety Function) 을 통해, 이 모델은 짧은 시간 내에 고품질의 깨끗한 결과를 얻을 수 있습니다.
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