판매용 중고 TEKNEK SMCM2 600 #159818

TEKNEK SMCM2 600
ID: 159818
Clean machine.
TEKNEK SMCM2 600 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 는 마스크와 웨이퍼 표면을 청소하도록 설계된 고성능 완전 자동화 도구입니다. 입자 제거 및 오염 수준을 최적화하기 위해 TEKNEK (TEKNEK) 고유의 두 가지 스크러빙 기술의 조합을 사용합니다. 기계의 주요 청소 과정은 화학 스크러빙 시스템입니다. 공기제트 (air jet) 가 지원하는 회전식 스크럽 (scrub) 패드에 수용액을 뿌려 매우 높은 수준의 클리닝을 달성한다. 스크럽 패드 (scrub pad) 는 수천 개의 작은 합성 강모로 구성되어 있으며, 마스크 또는 웨이퍼 표면에서 오염 물질과 잔기를 분리하는 데 사용됩니다. 스크러버 (scrubber) 가 사용하는 솔루션은 내장 복구 시스템에 의해 수집되고 재활용됩니다. 두 번째 청소 과정은 초음파 스크러빙입니다. 이것은 고주파 음파가 마스크 (mask) 또는 웨이퍼 (wafer) 표면에 미세한 거품을 만들어 지속적인 오염 물질을 느슨하게 만드는 데 사용되는 비 접촉 (non-contact) 프로세스입니다. 이 과정 은 "마스크 '나" 웨이퍼' 의 섬세 한 구조 를 손상 시키지 않는다. 두 공정 은 동시 에 수행 되므로, 기계 는 "마스크 '의 양면 이나" 웨이퍼' 를 동시 에 청소 할 수 있다. 또한 SMCM2 600 은 공기 입자 를 제거 하는 호흡 장치, 수술 중 에 뚜껑이 열리면 스크러빙 (scrubbing) 과정 을 정지 시키는 "인터록 '장치, 그리고 길 잃은 입자 를 잡아" 스크러버' 에 들어가지 못하게 하는 "커버 '판 과 같은 안전 기능 을 갖추고 있다. 기계는 최소한의 인간 개입으로 우수한 결과를 낼 수 있습니다. 구성, 운영 및 유지 관리가 용이합니다. TEKNEK SMCM2 600 (TEKNEK SMCM2 600) 의 프로그래밍 가능한 설정을 사용하면 마스크 및 웨이퍼의 응용 프로그램 및 표면 속성에 따라 이상적인 클리닝 결과를 얻을 수 있습니다. 스크러버에는 스크럽 패드 (scrub pad), 세척 분지 (wash basin) 및 청소제 (cleaning agent) 를 포함한 다양한 액세서리가 포함되어 있어 최고 성능을 보장합니다. SMCM2 600은 모든 운영 환경에 필수적인 도구입니다. 비용 효율적이고 안정적이며 탁월한 청소 결과를 제공합니다. 첨단 스크러빙 (scrubbing) 기술과 종합적인 안전 기능을 갖춘 이 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (Wafer & Mask Scrubber) 는 업계의 청소 요구를 충족시키기 위한 탁월한 선택입니다.
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