판매용 중고 TEKNEK 167 #177466

TEKNEK 167 (TEKNEK 167) 은 웨이퍼와 마스크를 비용 효율적이고 효율적으로 청소하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 임베디드 (embedded) 입자에서 미립자를 검출하고 제거할 수 있는 패턴 인식 (pattern recognition) 시스템이 장착됐다. "스크러버 '에는" 스테인레스' 강철 소지자 가 차지 하는 긁힘 내성 "폴리에틸렌 '대체" 패드' 가 들어 있다. 스크러버 (scrubber) 에는 이중 브러쉬 (brush) 가 설치되어 웨이퍼와 마스크의 양면을 병렬로 스크러빙 할 수 있습니다. "스크러버 '의 심장 에는" 스크러버' 의 청소 주기 와 "브러쉬 '머리 를 구동 하는 데 사용 되는" 모우터' 의 각속도 를 제어 할 수 있는 "프로그래머블 로직 컨트롤러 '(PLC) 가 있다. 스크러빙 프로세스는 가변 속도 모터 (variable speed motor) 에 의해 구동되며, 필요에 따라 자동으로 스크러빙 속도를 높이고 감소시킬 수 있습니다. 또한, PLC 는 "브러쉬 '가" 웨이퍼' 나 "마스크 '에 대하여 움직 이는 힘 을 제어 하여 임베디드' 된 흙 이 안전 하고 효과적 으로 제거 된다. 167 개 의 "스크러버 '는" 웨이퍼' 와 "마스크 '가 깨끗 하고 오염 이 없도록 설계 되었다. 초음파 트랜스듀서 및 적외선 레이저를 사용하여 제거 할 미립자를 감지합니다. 트랜스듀서는 먼지와 파편을 진동시키는 음파를 방출합니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 내장 마이크로컨트롤러 (microcontroller) 를 장착하여 오염 수준을 측정하고 트랜스듀서로 측정 할 수없는 오염 물질을 정확하게 감지합니다. "스크러버 '에는 마찰 을 줄이고 입자 들 을" 웨이퍼' 나 "마스크 '로부터 안전 하게 떨어져 있는 데 도움 이 되는" 브러쉬' 머리 와 분리기 "패드 '가 달려 있다. "스크러버 '는 또한 방전 된 입자 들 을 빠르고 효과적 으로 제거 하는 데 도움 이 되는 진공" 시스템' 으로 설계 되었다. TEKNEK 167 스크러버는 최대 6 인치 웨이퍼 및 3X4 인치 마스크를 청소하도록 설계되었습니다. 청소 과정 을 추적 하고 청소 한 입자 의 수, 청소 된 "웨이퍼 '/" 마스크 '의 수, 총 주기 의 수 에 대한 세부점 을 보여 주는 청소" 모니터' 도 "스크러버 '를 갖추고 있다. "마이크로프로세서 '는 청소 과정 의 일관성 과 정확성 을 모니터링 하는 데 도움 이 된다. 167 스크러버 (Scrubber) 는 사용이 쉽고 유지 관리가 용이하며, 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 의 유지 보수 및 청소를 위해 안정적이고 효율적인 시스템을 필요로 하는 기업 및 연구 산업에 비용 효율적인 솔루션입니다. 스크러버 (scrubber) 의 첨단 기술 (advanced technology) 은 임베디드 입자가 안전하고 빠르게 제거되고 프로세스가 일관되게 효율적인지 확인하는 데 도움이됩니다.