판매용 중고 TCM CYE-QJ323-A1 #9304744

TCM CYE-QJ323-A1은 리소그래피 또는 에칭 프로세스 전에 표면에서 오염 물질을 제거하도록 설계된 널리 사용되는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 마이크로 일렉트로닉 및 기타 관련 산업에서 널리 사용됩니다. CYE-QJ323-A1 스크러버는 고도로 자동화되어 있으며 가공된 알루미늄 프레임과 공압 구동 장비로 구성됩니다. 스크러빙 챔버 주변에서 웨이퍼와 마스크를 구동하는 4면 처리 구역과 컨베이어 시스템 (Conveyor System) 이 있습니다. 공압 장치는 내장 진공 펌프와 압축 공기로 구동됩니다. 컨베이어 머신은 가변 속도 제어가있는 브러시리스 AC 모터와 PLC (programmable logic controller) 에 의해 제어되는 중앙 코어 구동 도구로 구동됩니다. 스크러버에는 비전환 도어, 비상 정지 버튼, 안전 인터 록 (Safety Interlock) 과 같은 적절한 안전 기능이 있습니다. 외부 스크러버에는 팬 스타일의 스테인레스 스틸 케이스가 있으며, LED 모니터가 내장되어 있습니다. LED 모니터는 운영자에게 스크러버 성능에 대한 시각적 피드백을 제공하며, 필요에 따라 조정할 수 있도록 합니다. 스크러버에는 저조도 환경에서 스크러빙 성능을 높이기 위해 조절 가능한 strobe light도 포함됩니다. 내부적으로, 스크러버에는 클리어링 힘, 속도, 방향에 따라 조정 가능한 브러쉬 헤드가 장착되어 있습니다. 브러쉬 헤드는 방사형 또는 직교 브러싱을 위해 구성할 수 있습니다. TCM CYE-QJ323-A1에는 와이퍼, 부식 내성 노즐 및 노즐 안정기도 있습니다. 또한, 스크러버에서 입자, 증기, 파편을 제거하는 화학 여과 자산이 포함되어 있습니다. 스크러버에는 데이터 기록 (data recording) 및 데이터 로깅 (data logging) 모델이 장착되어 있어 스크러버의 비휘발성 메모리에 데이터를 저장합니다. 스크러버는 USB 포트를 통해 PC와 통신 할 수 있습니다. PC가 스크러버와 통신하여 스크러빙 매개변수를 조정하고 프로세스 데이터를 다운로드할 수 있습니다. 요약하자면, CYE-QJ323-A1은 다재다능하고 고도로 자동화 된 스크러버로, 리소그래피 또는 에칭 프로세스 전에 표면에서 오염 물질을 제거하도록 설계되었습니다. 견고한 디자인, 조절 가능한 스크러빙 헤드 (scrubbing head), 화학 여과 장비, 데이터 로깅 기능을 통해 마이크로일렉트로닉 및 관련 산업에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.