판매용 중고 SVG 8620 #293609704

SVG 8620은 생산 및 R&D 응용 프로그램 모두에서 반도체 웨이퍼 및 기판 청소에 사용되는 정밀 웨이퍼/마스크 스크러버입니다. 8620은 150mm와 200mm 사이의 표면을 처리 할 수있는 단일 헤드 스크러버입니다. 스크러버는 통합 원심 힘 공급 시스템으로 구동되며, 0 ~ 25 모션/분에서 일관된 스크러빙 속도를 제공합니다. 최대 300mm 기판을 스크러빙 할 수있는 선택적 인덱싱 회전 암 (indexing rotation arm) 도 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 공간 청소 기술 (spatial cleaning technology) 을 특징으로하며, 작동 중에 먼지와 입자가 웨이퍼 가장자리에서 효과적으로 제거됩니다. 이것은 가로 경로를 사용하여 달성됩니다. 여기서 스크러빙 헤드는 다환계 파동 (polycyclic wave-like) 패턴을 가로 질러 회전합니다. 이 파도 같은 패턴은 기질의 세로 축 (longitudinal axis) 을 따르고, 그 후 기판의 가장자리를 향해 스크러빙 응용 프로그램 (scrubbing applicator) 을 겨냥하여 그곳에 설치 된 불순물을 효과적으로 제거합니다. 스크러버는 증류수와 낮은 pH isopropanol 청소 용액과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 세제 기반의 계면 활성제 함유 클리닝 솔루션을 사용하여, 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 기판 모두에 대해 포괄적 인 클리닝을 제공 할 수 있으며, 개별화 된 청소 공정으로 누락 될 수있는 유기 불순물을 모두 제거 할 수 있습니다. 이 기계에는 스크러빙 (scrubbing) 프로세스를 시각적으로 모니터링하고 검사할 수 있도록 하는 통합 CCD 카메라가 포함되어 있으므로 청소가 일관되고 효과적입니다. 또한 스크러버 (scrubber) 는 CMOS 및 MEMS 금속 증착 및 제거 프로세스와 함께 작동하도록 자동화되어, 프로젝트를 기존의 방법보다 빠르고 효율적으로 완료 할 수 있습니다. 이 자동화는 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 를 사용하는 로봇 암 (robotic arm) 을 사용하여 사용 중일 때 항상 올바른 위치에 있으며, 각 사용 후 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 를 재배치함으로써 달성됩니다. 또한, "컴퓨터 '는 최적 의 성능 과 일관성 을 보장 하기 위해 청소 시간, 청소 솔루션 사용 및 기타 변수 들 을 모니터링 할 수 있는 고급" 컴퓨터' 시스템 을 갖추고 있다. 전반적으로, SVG 8620은 효과적이고 효율적인 스크러버로, 150mm ~ 300mm 사이의 기판을 청소하고 유기 불순물을 제거하여 웨이퍼 및 마스크 기판에 우수한 청소를 제공합니다. 이 기계는 또한 고급 자동화, 검사, 모니터링 시스템을 포함하며, 기판 크기나 유형에 관계없이 일관되고 효과적인 클리닝을 보장합니다.