판매용 중고 SVG 8600 #9411945

SVG 8600은 반도체 공정 장비 제조업체 인 Semi-Tek의 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 "스크러버 '는 반도체" 웨이퍼' 와 "마스크 '와 같은 표면 오염 물질 을 우월 하게 청소 하기 위한 것 이다. 청소 공정 은 완전 히 자동화 되었으며, 산소 "라디칼 '을 사용 하여 철저 히 깨끗 한 기질 을 보장 한다. 8600은 다양하고 신뢰할 수있는 청소 장비입니다. 산소 진공을 사용하여 기질 및 마스크 특성을 변경하지 않고 공정 생성 잔류 물을 제거합니다. 이 시스템은 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 최대 10 인치 크기의 마스크를 만들 수 있습니다. 또한, 표면에서 입자와 오염 물질을 제거 할 수있는 통합 스크러버 (scrubber) 장치가 장착되어 있습니다. SVG 8600은 2 단계 클리닝 사이클을 사용합니다. 제 1 단계는 산소 증기를 사용하여 표면에서 유기 화합물을 제거합니다. 이 증기는 밀봉 된 반응 챔버에서 생성되며 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크를 통해 전달됩니다. 그 다음 에 "증기 '는 지표 상 의 유기 화합물 과 반응 하여 그 들 에게 부착 하여 산소" 라디칼' 로 분해 시킨다. 청소 주기의 2 단계에서, 산소 라디칼은 입자 및 오염 표면에 부착되어 산화된다. 산화 후, "가스 '와 미립자 들 은 진공 에 의해 지표 에서 떨어져 나간다. 이 과정 은 여러 번 반복 되며, 일반적 인 습식 "스크러빙 '과정 보다 더 깨끗 한 기판 과" 마스크' 를 공급 하도록 설계 되었다. 이 기계는 PC 기반 소프트웨어 제품군에 의해 제어 및 모니터링됩니다. 이 제품군에는 문제 해결 프로세스를 통해 공구 (Tool) 운영자를 안내하는 '장애 진단' 및 '공통 결함 및 솔루션 라이브러리' 가 포함됩니다. 또한 자산 매개변수에 대한 실시간 보고 기능을 제공하며, 프로세스 관리 소프트웨어와 상호 작용할 수 있습니다. 모델은 완전히 사용자 정의할 수도 있습니다. 스크러버 헤드 (scrubber head) 를 x 방향과 y 방향으로 이동하여 서로 다른 모양과 크기의 기판을 청소할 수 있습니다. 또한, 사용자가 특정 요구사항에 맞게 클리닝 매개변수를 조정할 수 있도록 단계 속도 (step speed) 및 유지 시간 (dwell time) 을 조정할 수 있습니다. 이 장비 에는 청소 전 에 기판 이나 "마스크 '로부터 정전기 를 제거 하기 위한" 이오나이저' 가 들어 있다. 결론적으로, 8600은 우수한 청소 및 표면 오염 제거를 위해 설계된 자동 웨이퍼 & 마스크 스크러버입니다. 다용도이며, 완벽한 사용자 지정 가능한 클리닝 주기와 문제 해결을 위한 진단 소프트웨어 (Diagnostic Software) 제품군을 제공합니다. 신뢰할 수 있고, 효과적이며, 항상 깨끗한 기판과 마스크를 보장합니다.