판매용 중고 SVG 8600 #9404481

ID: 9404481
Coater / Developer system.
SVG 8600 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 는 반도체 업계에서 웨이퍼의 처리량을 높일 수 있도록 설계된 자동 연마 장비입니다. "에너지 '와" 에너지' 를 사용하지 않는 미디어의 독특한 조합을 사용하여 웨이퍼와 마스크를 스크러브 및 폴란드화합니다. 8600 은 클리닝 사이클 완료 시 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 제거하기 위한 로봇 암 (robotic arm) 을 갖추고 있어 효율적이고 비용 효율적인 방법으로 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 높은 처리량 및 정밀 클리닝이 가능합니다. 통합 스크러버 (Integrated Scrubber) 는 사용자가 클리닝 사이클을 빠르고 정확하게 시작하고 다양한 기판 유형에 이상적인 클리닝 솔루션을 제공할 수 있도록 설계되었습니다. SVG 8600 은 다양한 스크러빙 (scrubbing) 및 다듬기 (polishing) 미디어를 활성화하여 사용자가 클리닝 요구 사항을 사용자 정의할 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 사용자 친화적 인 인터페이스를 제공하여 설치 및 최적의 클리닝 성능을 제공합니다. 컨트롤러는 로봇 암 (robotic arm) 에 연결되어 있으며 여러 스크러빙 (scrubbing) 및 다듬기 (polishing) 미디어 및 클리닝 사이클 옵션 중에서 선택할 수 있습니다. 또한 IPS (Intelligent Programming Unit) 는 기판 유형에 따라 스크러빙 및 연마 미디어를 자동으로 조정 할 수 있습니다. "로봇 '암 은" 웨이퍼' 와 "마스크 '를 스크러버 로 옮기고 신속 하고 능률적 인 청소 를 위해 수송 하는 데 사용 된다. 스크러버 (scrubber) 는 기질의 최적의 클리닝을 보장하고 고품질 결과를 유지하기 위해 특정 스크러빙 및 연마 매개변수를 유지하도록 설정됩니다. 이 기계는 포토 마스크, 웨이퍼 및 기타 SEM CMP 대상을 포함한 다양한 기판을 스크러빙 및 연마 할 수 있습니다. 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 는 홀더로 막히고 스크러버 (Scrubber) 는 기판에 걸쳐 일련의 매우 정확한 사이 블리 패턴 스트로크를 시작합니다. 그런 다음, "로봇 '암 은 기판 을 수송 하여" 스크러버' 에서 "마스크 '를 내어, 그 들 을 계속 제거 하고 필요 하다면 스크러빙 과정 을 반복 한다. 8600은 ISO 14001 및 9001 표준을 준수하도록 철저한 테스트를 거쳐 인증되었습니다. 또한 높은 수준의 안정성을 통해 처리량을 극대화하고 다운타임을 최소화할 수 있습니다 (영문). 이 완벽한 클리닝 솔루션은 반도체 (Semiconductor) 와 패브리스 (Fabless) 제조업 (Manufacturing) 에 이상적인 제품으로, 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 스크러빙 및 다듬기를 위한 비용 효율적인 고품질 솔루션이 필요합니다.
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