판매용 중고 SVG 8600 #9301997

ID: 9301997
Coater track system.
SVG 8600 (SVG 8600) 은 다양한 웨이퍼 및 마스크 스크러버로 평평한 표면 웨이퍼와 마스크를 매우 균일하게 청소하도록 설계되었습니다. 로우 프로파일 (LP) 모듈로 구성되어 있어 공간 활용도가 우수하고 유지 보수가 용이합니다. 통합 된 멀티 베인 (Multi-vane) 재순환 펌프를 통해 8600은 탁월한 에치/클린 선택성을 가능하게하며 오염 물질 구축에 대한 걱정없이 시간당 최대 500 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한 닫힌 루프 시스템 (closed loop system) 을 통해 최적의 처리 매개변수를 정확하게 자동 모니터링하고 유지 관리할 수 있습니다. SVG 8600은 터치 스크린 지원 HMI를 통해 사용자 제어를 가능하게 하며, 빠른 리콜을 위해 최대 25 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. 고급 (Advanced) 기술은 효율적인 스크러빙/에칭 (scrubbing and etching) 을 통해 높은 처리량과 낮은 폐기물을 제공하도록 조정되었으며, 자동 교정 기능은 평생 동안 최적의 성능을 달성하도록 보장합니다. 8600은 또한 필요에 따라 빠르게 교체 할 수있는 조절 가능한 스크러빙 헤드 (scrubbing head), 이동식 스크러버 (removable scrubber) 및 폴리 에스테르 스크러빙 벨트 (polyester scrubbing belt) 를 갖춘 유지 보수를위한 완벽한 접근성을 제공합니다. SVG 8600은 매우 다재다능하고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 가장 까다로운 포토 마스크 및 웨이퍼 준비 요구에도 적합합니다. 강력한 설계는 시간당 수백 개의 웨이퍼를 지속적으로 사용하고 처리하는 데 적합하며, 사용하기 쉬운 인터페이스 (interface) 와 자동 교정 (automated calibration) 기능은 최적의 결과와 긴 서비스 수명을 보장합니다. 산업계· 연구계 전문가들 모두를 위한 완벽한 선택으로, 낭비와 오염을 최소화해 빠른 처리 (Rapid Processing) 를 가능하게 한다.
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