판매용 중고 SVG 8600 #9267068

SVG 8600은 2 개의 웨이퍼를 동시에 스크러빙 할 수있는 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 8600은 SVS-VISTEK GmbH에서 고진공 기술 전문 기술을 개발했으며, 반도체 및 포토 마스크 생산 산업의 고객에게 안정적인 스크러빙 기능을 제공합니다. 이 스크러버는 최대 클리닝 성능이 필요한 레티클, 포토 마스크, 웨이퍼 표면을 청소하는 데 이상적입니다. SVG 8600은 쿼츠, SiC, 스테인리스 스틸 또는 세라믹을 포함한 여러 유형의 작동 플레이트를 문지르도록 설계되었습니다. 최대 스크러빙 성능을 위해 2 개의 별도의 스크러빙 챔버와 6 개의 스크러빙 헤드를 제공합니다. 브러쉬 헤드는 특정 스크러빙 (scrubbing) 요구 사항에 맞게 조정할 수 있으며, 다양한 깊이 스크러빙 (scrubbing) 에 대해 수동으로 설정할 수 있습니다. 스크러버에는 KF 플랜지 (flange) 포트와 이동식 상판 (top-plate) 이 장착되어 있어 샘플을 쉽게 로드 및 언로드할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 스크러버 작업이 필요한 경우 운영자에게 경고하는 통합 오디오/비주얼 알람 (audio/visual alarm) 장비가 추가로 장착되어 있습니다. 디지털 디스플레이는 손쉬운 장애 발견을 위한 작동 상태를 나타냅니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 유체 오염으로부터 민감한 부품을 보호하도록 설계된 필터 시스템을 특징으로합니다. 이 필터링 장치는 표준 습식 화학 물질을 대체하고 안전성과 효율성을 개선하도록 설계되었습니다. 마지막으로, 스크러버에는 정확한 스크러빙 온도를 유지하기 위해 -20 ° C ~ + 60 ° C 범위로 설정할 수있는 온도 조절 기계가 장착되어 있습니다. 8600 년에 사용된 고급 기술을 통해 스크러버 (scrubber) 는 고품질의 신뢰할 수 있는 클리닝 결과를 얻을 수 있습니다. 스크러버는 최소한의 웨이퍼 손실과 뛰어난 반복성으로 빠르고 정확한 작동을 보장합니다. SVG 8600 의 스크러빙 (scrubbing) 기능은 반도체 및 포토마스크 생산 업계의 응용 프로그램을 청소하는 데 이상적인 기능입니다.