판매용 중고 SVG 8600 #9265350

SVG 8600 (SVG 8600) 은 반도체 산업의 정밀 웨이퍼 청소를 위해 특별히 설계되고 제작 된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버는 스퍼터링 (sputtering), 에칭 (etching) 과 같은 프로세스 단계 전에 웨이퍼와 마스크를 청소하도록 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼 표면에 직접 적용되는 고압 스프레이 기술을 사용하여 오염 입자를 분리합니다. 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼 표면의 완전한 범위를 보장하여 웨이퍼를 손상시키지 않고 산업 등급 클리닝을 제공합니다. 8600은 강력한 600바 (8,700psi) 압력 장비를 갖추고 있습니다. 이 고압 시스템은 조정 가능한 펌프 장치 (Pump Unit) 에 의해 보완되며, 사용자는 각 웨이퍼에 대한 클리닝 에이전트의 압력과 볼륨을 사용자 정의할 수 있습니다. 사용 된 청소제 는 특수 제화 된 혼합물 로서, 재료 를 손상 시키지 않고 "웨이퍼 '표면 에서 오염 물질 을 효과적 으로 제거 하도록 설계 되었다. 혼합물은 환경 친화적이고 웨이퍼 표면에 부식성이 없도록 설계되었습니다. 스크러버의 독특한 듀얼 브러시 머신에 의해 청소가 더욱 향상됩니다. 브러쉬 도구 (Brush Tool) 를 사용하면 웨이퍼 또는 마스크 표면을 손상시키지 않고 파편 (예: 깨진 섬유 팁) 을 제거할 수 있습니다. "스크러버 '는 또한 청소" 에셋' 을 조정 할 수 있는 "온도조절 에셋 '을 갖추고 있는데, 이" 에셋' 을 사용 하여 그 온도 를 특정 한 과정 에 맞추어 효과 를 극대화 할 수 있다. 스크러버는 최대 8 인치 (200mm) 직경의 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼 표면의 적절하고 균일 한 범위를 보장하기 위해 트랙 모델을 통합합니다. "스크러버 '에는 또한" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 위치 를 추적 하는" 센서' 를 장착 하여 청소 과정 의 정확성 을 보장 해 준다. "스크러버 '는 안전 을 염두 에 두고 설계 되었으며" 와퍼' 와 "마스크 '를 손상 시키지 못하도록" 오퍼레이터' 를 보호 할 수 있는 안전 기능 을 갖추고 있다. 스크러버 (scrubber) 의 추가 기능에는 스크러버 상태를 실시간으로 모니터링하기 위한 원격 모니터링 패키지 (remote monitoring package) 가 포함되어 있어 유지 보수 문제에 신속하게 대응할 수 있습니다. SVG 8600 Wafer and Mask 스크러버 (SVG 8600 Wafer and Mask Scrubber) 는 프로세스 단계 전에 웨이퍼와 마스크를 정확하게 청소하기 위한 안정적이고 효과적이며 효율적인 솔루션입니다. 사용자 친화적 인 기능, 조정 가능한 클리닝 매개변수, 품질 보증 기능을 갖춘 스크러버 (scrubber) 는 반도체 산업을 위한 산업용 등급 클리닝 기능을 제공합니다.