판매용 중고 SVG 8600 #9265347

SVG 8600
ID: 9265347
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
Coater / Developer system, 6" 1994 vintage.
SVG 8600은 SVG, Inc.에서 제조 한 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장치는 반도체 제조 및 생산 공정에서 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 표면에서 퇴적물을 제거하도록 설계되었습니다. 이 제품은 고급 스크러빙 (scrubbing) 장비와 함께 바늘 제트 클리닝 (needle jet cleaning) 형태의 수성 소닉 클리닝 (sonic cleaning) 과정을 활용하여 깨끗하고 오염 된 표면을 보장합니다. 8600은 수력 음성을 사용하여 작동합니다. 이 과정은 수성 청소제, 초음파 목욕 및 스크러빙 시스템의 조합을 사용합니다. 초음파 목욕 은 "웨이퍼 '나" 마스크' 의 표면 에 있는 입자 들 을 분해 하여, 청소제 가 침투 하여 제거 할 수 있게 한다. 스크러빙 장치는 웨이퍼 표면에 스크러빙 액션을 적용하여 작동합니다. 이 작업은 표면에서 입자를 분리하는 데 도움이 되며, 웨이퍼 (wafer) 나 마스크 (mask) 에 깊은 청소를 제공할 수 있습니다. SVG 8600 코어에 있는 스크러빙 머신 (scrubbing machine) 은 속도 및 방향으로 조절 가능한 모터 구동 회전 (motor-driven rotating) 디스크를 통해 작동합니다. 이 디스크에는 브러쉬, 교환 가능한 웨이퍼 및 마스크 홀더, 워터 제트 린싱 도구가 장착되어 있습니다. "브러쉬 '는" 웨이퍼' 나 "마스크 '의 표면 을 문지르는 데 사용 되는 반면, 물" 제트' 고리 에셋 은 표면 에서 입자 를 제거 하는 데 도움 이 된다. 조정 가능한 클리닝 주기 시간도 있으며, 전체 모델은 터치 스크린 패널 (touch-screen panel) 로 제어됩니다. 8600 은 내구성과 확장성 을 위해 "스테인리스 '로 만들어졌으며, 가동 과 유지 가 쉽다. 그것 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 로 훌륭 한 결과 를 보장 하도록 설계 되었으며, 매우 강력 한 "스크러버 '이다. 반도체 제조업체와 생산 기능을 위한 완벽한 선택입니다.
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