판매용 중고 SVG 8600 #9265340

SVG 8600은 SVG Automation ACM에서 제조 한 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 반도체 생산 및 기판 청소를 위해 설계된 고급 장비입니다. 8600은 200mm 크기의 웨이퍼와 최대 600mm x 600mm 크기의 마스크 크기를 처리 할 수 있습니다. SVG 8600의 로봇 트랙 (Robotic Track) 은 산업 등급 캐스트 알루미늄으로 제작되었으며 완벽한 웨이퍼 및 마스크 처리를위한 정밀 볼 베어링 선형 슬라이드를 포함합니다. 고속 동력 트랙은 반복 가능한 정확한 기판 전송을 가능하게합니다. 스크러빙 프로세스는 효과적인 입자 제거를 위해 고압 디이온화 된 (DI) 물 제트를 사용하는 8600의 AccuJetle ® 노즐 기술을 사용하여 수행됩니다. AccuJet System은 사용자 정의 가능한 압력 및 기간 설정을 제공하여 최적의 청소 성능을 보장합니다. SVG 8600은 더 나은 자기 유지 관리를 실현하기 위해 습식 스크러빙 기술을 사용합니다. 뚜껑은 증발을 줄이고 최적의 스크러빙 효율을 보장하는 데 사용됩니다. 내장 필 센서는 외부 탱크에서 DI 물을 수집합니다. DI 워터는 파이프를 통해 스크러버에 연결됩니다. 8600은 스크러빙 프로세스를 모니터링할 수 있으며, 피드백 및 데이터 수집을 통해 실시간으로 반응할 수 있습니다. SVG 8600에는 또한 고효율 미립자 공기 (HEPA) 여과 장치 (HEPA) 가 포함되어 있으며, 이 장치는 스크러빙 영역에서 입자를 수집하고 제거하는 역할을 합니다. HEPA "필터 '는" 스크러버' 에 직접 설치 되며, 다른 "스크러버 '에 비하여 가장 낮은" 에너지' 와 마비 를 소모 하는 경향 이 있다. 또한, 8600은 스크러빙 매개변수를 제어하기 위해 자기 (magnetic) 밸브로 설계되었으며, 잠재적 스크러버 작동 문제를 식별하기 위해 여러 센서가 장착되어 있습니다. SVG 8600에는 정확한 제어 및 성능 모니터링을 위한 온보드 컴퓨터도 포함되어 있습니다. 스크러빙 매개변수 (scrubbing parameters), 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 상태 (mask status) 등의 데이터를 저장할 수 있습니다. 8600은 고급 반도체 생산 및 기판 청소에 이상적인 스크러버입니다. Robotic Track, AccuJet 노즐 머신, HEPA 여과, 센서 및 온보드 컴퓨터는 정확한 제어 및 데이터 수집을 보장합니다. SVG 8600은 200mm 크기의 웨이퍼와 최대 600mm x 600mm 크기의 마스크를 스크러빙 할 수 있습니다. 커스터마이징 가능한 압력 (Pressure) 과 기간 (Duration) 설정을 통해 최고 수준의 클리닝 효능과 성능을 얻을 수 있는 이상적인 플랫폼을 제공합니다.