판매용 중고 SVG 8600 #9265338

SVG 8600은 ClassOne Technology에서 개발 한 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 고도의 고급 장비로, 레티클, 웨이퍼, 마스크, 기타 부품 등 웨이퍼 제작에 사용되는 크리티컬 표면을 효율적이고 정확하게 청소, 린스, 건조하도록 설계되었습니다. 8600에는 고에너지 UV 조명, 강력한 울트라 사운드 클리닝 액션, 부드러운 스크러빙 액션, 빠르고 안정적이며 철저한 클리닝을 제공하는 최종 건조 단계 (final drying step) 가 결합 된 5 단계 프로세스가 장착되어 있습니다. 스크러버는 두 개의 개별 섹션 (스크러빙 스테이션과 건조 스테이션) 으로 구성됩니다. 스크러빙 스테이션 (scrubbing station) 에는 세제, 초음속 클리닝 및 스크러빙의 조합을 사용하여 효과적이고 균등하게 웨이퍼와 마스크를 청소하는 자동 프로그래밍 된 클리닝 암이 포함되어 있습니다. 청소 작용 은 "오존 '" 린스' 를 첨가 하여 "웨이퍼 '나" 마스크' 표면 에 남아 있을 수 있는 잔기 나 유기 오염 물질 을 제거 하는 데 도움 이 된다. 시스템의 두 번째 부분은 건조 스테이션입니다. 이 섹션에서, 강력하면서도 부드러운 공기 흐름 순환 장치 (air-flow circulation unit) 는 스크러빙 스테이션의 청소주기 후에 남은 물이나 세제 잔류 물을 빠르고 효율적으로 건조시키는 데 사용됩니다. 공기 흐름은 조절 가능하며, 최소한의 노력으로 원하는 건조 결과를 달성하도록 설정할 수 있습니다. 또한 SVG 8600 에는 포괄적인 데이터 로깅 머신 (data-logging machine) 이 장착되어 있어 특정 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 특성 분석뿐만 아니라 클리닝 결과를 상세하게 추적 및 모니터링할 수 있습니다. 수집된 데이터는 최적의 청소 결과를 위해 향후 청소 프로토콜을 사용자 정의하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 는 다양한 크기의 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 처리할 수 있으므로 운영자가 가장 다양한 제품을 제작할 때 이 도구를 효율적으로 활용할 수 있는 유연성을 갖습니다. 8600은 모든 웨이퍼 제조 공장에서 필수 불가결한 도구입니다. 다용도 처리 기능, 강력한 청소 및 건조 기능, 종합적인 데이터 로깅 자산 등을 갖춘 스크러버 (scrubber) 는 최신 반도체 (semiconductor) 제작 워크플로우에서 중요한 청소 프로세스를 위한 안정적이고, 효율적이며, 비용 효율적인 솔루션을 제공하는 데 있어 타의 추종을 불허합니다.