판매용 중고 SVG 8600 #9265337

SVG 8600은 기계적이고 완전 자동화 된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 청소 환경에서 다양한 평면, 비 다공성 웨이퍼, 포토 마스크 및 기타 기판에서 정확하고, 일관성 있고, 신뢰할 수있는 클린 사이클을 수행하도록 설계되었습니다. 이 장비의 주요 목적은 모든 유형의 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 청소하는 데 필요한 구성 요소를 제공하는 것으로, LCD 제작에서 고급 반도체 프로세스에 이르기까지 다양한 산업에 적합합니다. 8600에는 2 개의 기계식 스크러빙 헤드로 구성된 스크러버 암 (scrubber arm) 이 장착되어 있으며, 웨이퍼 및 최대 200mm 직경의 마스크에 대해 반복 가능한 스크럽을 수행 할 수 있습니다. 더욱이, 이 "시스템 '은 단일 기본 장치 에 상주 하여 크기 와 무게 에 대한 장점 을 제공 한다. 기본 장치는 또한 스크러버 암 (scrubber arm) 을 지원하며 작동을 가능하게 하는 데 필요한 드라이브 및 제어 부품을 포함합니다. SVG 8600에는 스크러빙 부품 외에도 물/용매 분산 장치 (water/solvent distersal unit) 역할을하는 조정 가능한 린스 분무기가 장착되어 있습니다. 조절 가능한 린스 스프레이어 (Rinse Sprayer) 는 스크러빙 후 웨이퍼/기판이 모든 오염 물질이 완전히 없도록 보장합니다. 또한, 8600 년 내부는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 제작되었으며, 반도체 등급 물 여과 및 증류를 사용하여 스크러빙 과정에서 입자를 추가하지 않고 최고 수준의 청결 및 오염 제어를 제공합니다. 이 기계는 또한 네트워크 지원 터치 스크린 제어 센터 (Touch Screen Control Center) 를 통해 다른 운영자와 상호 작용하도록 설계되었습니다. 터치스크린 모니터 (Touch Screen Monitor) 는 운영자와 함께 사용하기 쉬운 인터페이스를 제공하므로 시스템의 서브시스템과 기능을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한, 사용자는 최대 24 개의 사용자 정의 스크러빙 프로그램을 도구의 레시피 라이브러리에 저장할 수 있습니다. SVG 8600은 최소한의 공간을 확보하고 최소한의 감독을 수행하도록 설계되었습니다. 이 자산은 최대 800rpm의 스크러빙 속도 (scrubbing speed) 에 도달하는 한편, 여전히 품질 결과를 낼 수 있습니다. 스크러빙 압력은 고객의 특정 요구 사항에 맞게 조정할 수도 있습니다. 일관된 결과, 빠른 주기 시간 (rapid cycle time), 봉투 크기 (envelope size) 를 갖춘 8600은 기판에 신뢰할 수 있고 정확한 깨끗한주기를 제공하고자 하는 기업에게 탁월한 선택입니다.