판매용 중고 SVG 8600 #9265334
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SVG 8600 은 수동화 (passivation), 에칭 (etching), 리소그래피 (lithography) 및 증착 (depositing) 프로세스에 효율적인 표면 청소 수단을 제공하도록 설계된 강력한 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 현재 사용 가능한 가장 고급 스크러빙 시스템 중 하나입니다. 독특한 디자인은 품질과 속도 모두에 중점을 둡니다. 설계 측면에서 8600 (Steel Frame) 은 작동 중 안정성과 안정성이 뛰어난 강철 프레임을 갖추고 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 오염 물질을 최소한으로 유지하기 위해 이중 층 먼지 수집 장비, 개선 된 물개 및 자체 청소 필터로 제작되었습니다. 스크러버 (scrubber) 는 고급 브러시를 갖춘 특수 인라인 스크러빙 휠 (in-line scrubbing wheel) 을 사용하여 기판과 마스크를 철저히 청소합니다. 스크러빙 헤드는 스프링로드 (spring-loaded) 먼지 커버가있는 조절 가능한 암 설계로, 최대 적용 범위와 일관된 작동이 가능합니다. 스크러버에는 부드럽고 정확한 클리닝 사이클을 보장하기 위해 PLC (programmable logic controller) 가있는 맞춤형 로봇 운영 및 제어 시스템이 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 클리닝 주기 동안 완전한 제어를 위한 터치스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 와 데이터 로깅 장치 (data logging unit) 도 있습니다. 또한 마모와 찢어짐을 방지하기 위해 스크러빙 헤드의 흐름을 무작위 화하기위한 "랜덤 Op (Random Op)" 모드가 있습니다. 또한, 스크러버에는 자동 초점 (Autofocus) 및 자동 로드 (Autoload) 기능이 있으므로 웨이퍼를 자동으로 감지하고 그에 따라 초점을 조정할 수 있습니다. SVG 8600의 스크러빙 휠 (scrubbing wheel) 은 높은 경도와 마모 저항을 특징으로하여 표면 오염 물질을 효과적으로 청소하고 제거 할 수 있습니다. 또한 청소 프로세스를 더욱 개선하는 안티 가우징 (anti-gouging) 및 안티 스크래치 (anti-scratch) 머신을 갖추고 있습니다. 이 도구는 또한 스크러빙 사이클 (scrubbing cycle) 동안 최소한의 중단을 위해 소음 연산을 줄입니다. 스크러버는 뛰어난 반복성과 정확성을 위해 설계되었습니다. 정전기 전하를 제거하는 데 도움이되는 정전기 장치 (antitatic mechanism) 가 있는데, 이는 청소 과정에서 웨이퍼와 마스크를 손상시킬 수 있습니다. 스크러버에는 작동 중 기판의 열을 최소화하는 안티 글로우 에셋 (anti-glow asset) 도 있습니다. 8600은 품질 청소에 이상적인 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 빠르고 효율적이며 생산 생산량을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 직관적 인 "디자인 '과 광범위 한 특징 을 지닌" 스크러버' 는 당신 의 생산 과정 과 결과 를 개선 시켜 준다.
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