판매용 중고 SVG 8600 #9265333
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SVG 8600은 SVG 디스트리뷰터 (SVG Distributors) 가 개발 한 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 반도체 제조 공정에 사용되는 웨이퍼 및 마스크를위한 자동 클리닝 솔루션을 제공합니다. 이 장비는 유해 화학 물질이나 수동 노동을 포함하지 않고 표준 습식 벤치 (wet-bench) 환경 내에서 웨이퍼 (wafer) 와 마스크를 청소하고 스크럽하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 특허를 받은 초고속 스크러버 (scrubber) 가 장착되어 있는데, 이 디스크는 연마식으로 채워진 스크러빙 디스크를 사용하여 입자를 제거하고 손상되지 않고 표면에서 오염됩니다. 조절 가능한 속도와 다양한 스크러빙 압력을 사용하여 8600 은 소프트 알루미늄 (soft aluminum) 과 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 에서 하드 세라믹 마스크 (hard ceramic mask) 까지 모든 유형의 표면을 청소할 수 있습니다. 통합 진공 및 여과 장치 (integrated vacuum and filtration unit) 는 기계 가 공정 중 에 문지르는 표면 에서 파편 을 끌어낼 수 있게 한다. 스크러버 (scrubber) 에는 스크러빙 압력 (scrubbing pressure), 스크러빙 속도 (scrubbing speed), 여과 수준 (filtration level) 과 같은 매개변수를 쉽게 설정하고 조정할 수 있는 디지털 컨트롤러가 있습니다. 유지 보수 (maintenance) 작업이 필요할 때 작동을 모니터링하고 연산자를 경고하는 다양한 센서가 장착되어 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 랙에 안전하게 잠겨 쉽게 전송하고 보관할 수 있으며, 공간 절약형 (space-saving) 설계를 통해 모든 표준 습식 벤치 (wet-bench) 환경에 적합합니다. 이 툴은 안정적이고, 비용 효율적이며, 유지 보수가 용이하도록 설계되었습니다. 두껍고 내구성이 뛰어난 스크러빙 (scrubbing) 디스크를 사용하여 장기 유지 관리 비용을 절감하고 최대 5 시간의 스크러빙 (scrubbing) 주기를 유지할 수 있습니다. 마지막으로, SVG 8600은 모든 SVG 습식 벤치 시스템과 호환되며, 운영 중단을 최소화하면서 기존 반도체 제조 프로세스에 쉽게 통합할 수 있습니다.
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